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质量流量控制器（MFC）用于对气体的质量流量进行精密地测量和控制。广泛用于电子工艺设备、真空镀膜、 石油化工、冶金、制药、光纤熔炼、分析测量仪器、制气配气等行业。
★高性能价格比、普通型产品
★橡胶密封、模拟电路的MFC
★7A型的更新换代型
★管状分流，使用寿命长
满量程流量范围（N2） | 5SCCM～10SLM | |
控制范围 | 2～100％F.S. | |
阀类型（及阀初始状态） | 电磁调节阀（常闭） | |
准确度 | ±1.5％F.S. | |
线性 | ±0.5～1.5％F.S. | |
重复精度 | ±0.2％F.S. | |
响应时间 | 电特性: 10 sec 气特性: ≤ 4 sec | |
工作温度范围 | 5～45℃ | |
工作压差 | 0.1～0.5MPa | |
耐压 | 3MPa | |
漏气率 | 1×10-8atm.cc/sec He | |
通道湿材料 | 316L不锈钢、密封材料 | |
静密封材料 | 氟橡胶（或丁晴橡胶、硅橡胶） | |
动密封材料 | 氟橡胶（或丁晴橡胶、硅橡胶、聚四氟乙烯） | |
接头选择 | VCR | 1/4” |
双卡套 | 1/8”、1/4”或φ6、φ3 | |
重量 | 1.1Kg | |
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