详细介绍

多气体，多量程，金属密封，50-50,000 sccm的质量流量控制器

GM50A和GM51A数字控制质量流量控制器可提供模拟量或RS485，Profibus™，EtherCAT®，PROFINET或DeviceNet™I / O。数字控制电子器件利用的MKS控制算法，可在整个设备控制范围内对设定点进行快速，可重复的响应。典型的响应时间约为500毫秒。数字校准可在校准气体上产生设定点精度的1％。

· 流量从5到50,000 sccm

· 金属密封，带特氟龙阀塞

· 多种数字（ItherCAT，DeviceNet™，Profibus®，PROFINET和RS485）或模拟（0-5 VDC或4-20 mA）I / O

· 标准闭合电导泄漏率小于满量程的1.0％

· 少于750毫秒的建立时间

技术指标

控制范围	满量程的2％至100％	进气压力系数	<读数的0.02％/ psi
满量程流量范围	5-50000 sccm（相当于N2）	典型建立时间	<750毫秒，通常在满量程的5％以上
入口压力	150磅/平方英寸	热身时间	30分钟
正常工作压力差	10至5000 sccm; 10至40 psid，10000至20000 sccm; 15至40 psid，30000至50000 sccm; 25至40 psid	工作温度	10°C至50°C
耐压	1000磅/平方英寸	储存湿度	0至95％相对湿度，无凝结
爆破压力	1500磅/平方英寸	贮存温度	-20°至80°C
典型精度	20％至100％满量程时为设定值的±1％，2％至20％满量程时为满量程的±0.2％	外部泄漏完整性	<1 x 10 ^-09（scc / sec He）
重复性	读数的±0.3％	封闭阀的泄漏完整性	在大气压力为40 psig时高达10K阀门
解析度	满量程的0.1％	湿材料	316L SS VAR，316 SS，Elgiloy®，镍，KM45
零温度系数	<满量程的0.05％/°C	重量	3磅（1.4公斤）
跨度温度系数	<0.08％的读数/°C	合规	CE认证

特征

多种数字和模拟接口选择

GM50A数字控制MFC具有模拟或数字I / O。数字控制电子器件采用的MKS控制算法，可在整个设备控制范围内对设定点提供快速，可重复的响应。典型的响应时间约为500毫秒。GM50A的模拟和数字I / O可以轻松用来代替1179A MFC的相同I / O类型。所有GM50A均包含Modbus作为可用的辅助I / O（不包括PROFINET®和EtherCAT®）。

标准3英寸占地面积

GM50A利用MFC使用的标准3英寸占地面积，流量范围为5sccm至50 slm，从而无需修改现有的气体管线配置即可使用。

金属密封

GM50A金属密封MFC具有10 µ英寸电抛光316L表面光洁度，使该质量流量控制器可用于高纯度应用。

设定值精度的百分比

附带的数字校准可在全量程流量范围的20％至100％的情况下使用N2校准气体提供1％的设定点精度。设定点精度可实现精确的过程控制，相对于相对于满量程的精度。当质量流量为满刻度的2至20％时，精度为满刻度的±0.2％。

嵌入式用户界面

嵌入式用户界面提供了轻松更改设备范围和用户气体的能力，从而减少了库存需求。您还可以监视MFC功能并就地收集性能数据。

温度传感器

经过验证的热传感器设计可提供出色的零稳定性。美国号5461913。

产品简介