MKS/GE50A弹性密封数字型质量流量控制器-深圳市科锐诗汀科技有限公司手机版

详细介绍

GE50A弹性密封数字型质量流量控制器

多气体，多量程，弹性体密封，5-50,000 sccm的质量流量控制器

MKS G系列GE50A数字控制质量流量控制器可提供RS485，Profibus™，EtherCAT®，PROFINET或DeviceNet™I / O。数字控制电子器件利用的MKS控制算法，可在整个设备控制范围内对设定点进行快速，可重复的响应。典型的响应时间约为500毫秒。数字校准可在校准气体上产生设定点精度的1％。

· 流量从5到50,000 sccm

· Viton，Buna，氯丁橡胶或Kalrez的密封件和阀塞选项

· 多种数字（ItherCAT，DeviceNet™，Profibus®，PROFINET和RS485）或模拟（0-5 VDC或4-20 mA）I / O

· 标准闭合电导泄漏率小于满量程的0.1％

· 少于750毫秒的建立时间

技术指标

类型	质量流量控制器	跨度温度系数	<0.08％的读数/°C
控制范围	满量程的2％至100％	进气压力系数	<读数的0.02％/ psi
满量程流量范围	5-50,000 sccm	典型建立时间	<750毫秒，通常在满量程的5％以上
密封材料	Viton，Buna-N，氯丁橡胶或Kalrez	热身时间	30分钟
模拟连接器	9引脚或15引脚D子级	工作温度	10°C至50°C
入口压力	150磅/平方英寸	储存湿度	0至95％相对湿度，无凝结
正常工作压力差	10至5000 sccm; 10至40 psid，10000至20000 sccm; 15至40 psid，30000至50000 sccm; 25至40 psid	贮存温度	-20°至80°C
耐压	1000磅/平方英寸	外部泄漏完整性	<1 x 10-09（scc / sec He）
爆破压力	1500磅/平方英寸	封闭阀的泄漏完整性	在大气压力为40 psig时高达10K阀门
典型精度	20至100％满量程的设定点的±1％，2至20％满量程的设定点的±0.2％	湿材料	316L SS VAR，316 SS，Elgiloy®，镍
重复性	读数的±0.3％	表面处理	平均Ra 16µ英寸
解析度	满量程的0.1％	重量	3磅（1.4公斤）
零温度系数	<满量程的0.05％/°C	合规	CE认证

特征

多种数字和模拟接口选择

GE50A数字控制MFC可提供模拟或数字I / O。数字控制电子器件采用的MKS控制算法，可在整个设备控制范围内对设定点提供快速，可重复的响应。典型的响应时间约为500毫秒。GE50A的模拟量和数字量I / O可以轻松替代1179A MFC的相同I / O类型。所有GE50A均包含Modbus作为可用的辅助I / O（不包括PROFINET®和EtherCAT®）。

标准3英寸占地面积

GE50A利用MFC的标准3英寸占地面积，流量范围为5sccm至50 slm，从而无需修改现有的气体管线配置即可使用。

所有金属润湿的表面

GE50A的设计采用了最少的弹性体。只有一个外部弹性体密封件和弹性体阀芯。否则，所有湿润的表面都是金属。GE50A标配Viton®密封件以及Buna，Neoprene®，EPMD或Kalrez®的选件，允许该设备与需要以下替代品之一的气体一起使用

设定值精度的百分比

附带的数字校准可在全量程流量范围的20％至100％的情况下使用N2校准气体提供1％的设定点精度。设定点精度可实现精确的过程控制，相对于相对于满量程的精度。当质量流量为满刻度的2至20％时，精度为满刻度的±0.2％。

嵌入式用户界面

嵌入式用户界面提供了轻松更改设备范围和用户气体的能力，从而减少了库存需求。您还可以监视MFC功能并就地收集性能数据。

温度传感器

经过验证的热传感器设计可提供出色的零稳定性。美国号5461913。

产品简介