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M100B MKS质量流量控制器
M100B流量控制器为各种气体工业和试验应用设计了弹性密封和分析方法。当连接一个合适压力传感器M100B可作压强控制器。M100B尺寸是标准3英寸,适合替代市面上常见的流量控制器。气体流量可到30SLM(以N2为标准)。如果有更高流量需求请联系MKS。
例如:选型M100B00411CR1BV
*附加气码,接触应用工程。
**4和1 / 4英寸录像机压缩配件只能50K sccm的装置。
***1 / 8英寸的配件可供流量<5000 sccm的N2。