双频激光干涉仪（型号：ZLM700，德国耶拿尔公司生产，）-上海贝丁汉工业自动化设备有限公司手机版

详细介绍

在德国，耶拿地区以生产蔡司光学产品而闻名。位于该地区的耶拿尔（JENAer）公司生产的ZLM700双频激光干涉仪在同类产品中，由于具有的性能优势和简单的操作方法而久负盛名。由本公司代理，德国耶拿尔JENAer公司生产的双频激光干涉仪是真正意义上的双频干涉仪，并非单频干涉原理。

产品功能
定位精度、重复定位精度、位移距离测量、速度加速度测量、线性度、直线度、垂直度、平面度、偏摆角、俯仰角、滚动角、角速度、圆形轨迹、微振动测量，还能够测量数控机床回转台的定位精度和重复定位精度等，从而实现定位、校准、控制和补偿。ZLM700主要用于单轴系统的校准和测量，广泛应用于高速动态加工工艺中的机械定位和系统控制。

性能优势

l 真正意义上的双频激光干涉仪，频差为640MHz。请用户注意“激光干涉仪”和“双频激光干涉仪”的区别。双频激光干涉仪精度更好、性能更稳定。世界范围内只有两家双频激光干涉仪的生产商，德国耶拿尔公司是其中的一家。

l 全部部件皆在德国生产制造，绝非为了降低成本而在第三方国家进行部件加工。光学组件全部采用蔡司光学镜，是世界上一家将的蔡司光学镜用于激光干涉仪领域的产品制造商。

l 测量系统采用模块化设计，各种测量功能之间互不影响。若用户先期只需要干涉仪的部分功能（如仅测量直线度），则仅采购所需功能部分的光学部件（直线度光学镜），其他不需要的功能暂时可以不采购；若后期有其他功能的需求，补充采购功能对应的部件即可。

l 激光器寿命更长，可达20000小时，激光稳频精度高，一小时内为±0.002ppm，在产品寿命内可达±0.02ppm。

l 干涉镜采用差分干涉原理，系统精度更高，可达±0.4ppm。

l 计算机辅助光路调整，调整结果更准确。

l 采样频率更快，达1MHz，可在0.001Hz-1MHz之间进行选择。

l 被测物体速度16m/s（可选）；采用高精度AE950 PCI数据处理器，分辨率达0.6nm（当移动速度为1m/s时，线性分辨率更可高达为0.1nm）。

l 无加速度限制；当光线微弱时，性能也十分稳定。

l 信号延时<200ns；对电磁干扰不敏感。

l 对于多轴联动的复杂光路测量和微位移测量，请选用ZLM800型双频激光干涉仪，最多可实现六轴联动。

工作原理

ZLM700激光干涉仪使用氦氖激光器，采用双频外差式工作模式。激光稳频精度为+/-0.002ppm，640MHz的频差用于信号处理。这种高频处理信号能够对高速物体进行测量，不会出现干扰误差，信号延时时间极短。

采用光纤电缆，把来自干涉镜的信号传输到计算机卡槽连接的电子计数器上，避免了外部电磁环境对测量信号的干扰。因此，ZLM700双频激光干涉仪特别适用于恶劣的生产环境、标准化实验室和高真空环境。

技术参数

型号：ZLM700	AE700数据处理器	AE950数据处理器
He-Ne激光平均波长：	632.8 nm	632.8 nm
激光稳频精度：	一小时：2x10^-9（±0.002ppm）寿命内：2x10^-8（±0.02ppm）	一小时：2x10^-9（±0.002ppm）寿命内：2x10^-8（±0.02ppm）
系统精度（0-40℃时）：	±0.4ppm	±0.4ppm
线性误差：	±1.25nm（角隅干涉镜） ±0.62nm（平面干涉镜）	±0.3nm（角隅干涉镜） ±0.1nm（平面干涉镜）
采样速度：	内部0.005Hz-40MHz 外部0.001Hz-10MHz，可调	内部0.005Hz-40MHz 外部0.001Hz-10MHz，可调
光束直径：	6mm（可选3.2mm）	6mm（可选3.2mm）
激光管功率：	1mW（II级激光）	1mW（II级激光）
预热时间：	12分钟	12分钟
速度：	4m/s（可选16m/s），线速度 320rad/s，角速度	1m/s，线速度 80rad/s，角速度
加速：	无限制	无限制
速度测量精度：	±0.5ppm实测值	±0.5ppm实测值
位移测量分辨率：	2.5nm（角隅干涉镜） 1.25nm（平面干涉镜） 0.62nm 可选	0.6nm（角隅干涉镜） 0.3nm（平面干涉镜） 0.1nm 可选
位移测量精度： (20°±0.5°) 使用AUK (20°±0.5°) 真空中	±0.4ppm (μ/m) ±0.08 (±0.02)ppm (μ/m)	±0.4ppm (μ/m) ±0.08 (±0.02)ppm (μ/m)
线性测量距离：	40m（可选120m）	40m（可选120m）
线性度测量分辨率：	2.5nm（角隅干涉镜） 1.25nm（平面反射镜） 0.62nm 可选	0.6nm（角隅干涉镜） 0.3nm（平面反射镜） 0.1nm 可选
线性度测量精度： (20°±0.5°) 使用AUK (20°±0.5°) 真空中	±0.4ppm (μ/m) ±0.08 (±0.02)ppm (μ/m)	±0.4ppm (μ/m) ±0.08 (±0.02)ppm (μ/m)
角度测量范围：	± 15°，20m轴线范围	± 15°，20m轴线范围
角度测量分辨率：	0.062μrad（0.012角秒）	0.015μrad（0.012角秒）
角度测量精度：	±0.1ppm 示值	±0.1ppm 示值
平面度测量范围：	20m行程	20m行程
平面度测量分辨率：	0.062μrad（3x10^-3弧秒）	0.015μrad（3x10^-3弧秒）
平面度测量精度：	±0.2%实测值 ±0.05μrad/米行程	±0.2%实测值 ±0.05μrad/米行程
直线度测量范围：	± 5mm，2m或10m行程选用角度干涉镜可测30m行程	± 5mm，2m或10m行程选用角度干涉镜可测30m行程
直线度测量分辨率：	145nm，10m行程 29nm，2m行程	36nm，10m行程 7.25nm，2m行程
直线度测量精度：	±0.5%实测值，2m行程 ± 2.5%实测值，10m行程	±0.5%实测值，2m行程 ± 2.5%实测值，10m行程
垂直度测量范围：	± 5mm，2m或10m行程选用角度干涉镜可测30m行程	± 5mm，2m或10m行程选用角度干涉镜可测30m行程
垂直度测量分辨率：	145nm，10m行程 29nm，2m行程	36nm，10m行程 7.25nm，2m行程
垂直度测量精度：	±0.5%实测值± 0.5角秒（2m） ±2.5%实测值± 0.5角秒（10m）	±0.5%实测值± 0.5角秒（2m） ±2.5%实测值± 0.5角秒（10m）
回转轴测量分辨率：	0.00005°	0.00005°
回转轴测量精度	0.00025°	0.00025°
数据接口：	积分信号 32 Bit (实时信号) 信号延时小于20 ns	积分信号 32 Bit (实时信号) 信号延时小于20 ns
数据分析标准：	ISO230/VDI3441/VDI2617/NMTBA	ISO230/VDI3441/VDI2617/NMTBA
工作环境：	温度：15°C-30°C 湿度：<90%无冷凝	温度：15°C-30°C 湿度：<90%无冷凝
储存环境：	温度：10°C-40°C 湿度：<95%无冷凝	温度：10°C-40°C 湿度：<95%无冷凝
环境补偿器AUK：	环境传感器精度： <0.1 ℃ 压力传感器精度： <1.5 hPa 相对湿度精度： <5% 材料传感器精度： <0.05 ℃	环境传感器精度： <0.1 ℃ 压力传感器精度： <1.5 hPa 相对湿度精度： <5% 材料传感器精度： <0.05 ℃