3D激光干涉仪（型号：ZLM900-3D，德国JENAer公司生产，）-上海贝丁汉工业自动化设备有限公司手机版

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3D激光干涉仪--同步测量被测物体的位移、偏摆角和俯仰角


激光器和镜组	数据处理器	光学镜组

世界范围内，同类产品中效率精度的干涉仪。

三轴路外差式激光干涉仪，用于位移、俯仰角和偏摆角的同步测量
高灵活性调整模块，方便安装和拆卸
动态测量速度4m/s，实时显示三个轴路的测量数据
小型反射镜，带有磁性固定装置
适用于笔记本电脑、PCI和PXI数据处理器安装，与网络兼容
使用高精度温度传感器进行数据补偿
激光器稳频精度：一小时：2x10^9（±0.002ppm），寿命内：2x10^8（±0.02ppm）
数据同步精度：20ns
所有3轴实时数据测量，无延时
可定制小型反射镜
外部触发频率40MHz

技术参数

位移测量范围	15 m
位移测量分辨率	1.25 nm
位移测量精度	+/-0.4 ppm（需使用环境补偿器）
位移测量速度	2 m/s
位移速度测量精度	1 ppm
角度测量范围	+/-10°
角度测量分辨率	0.012角秒
角度测量精度	+/-0.1 ppm（角度沿某中心旋转） +/-0.02%+/-0.5+/-0.1M（M=轴向标定距离，单位为米）
角度测量速度	90 rad/s
角速度测量精度	1 ppm

上图为从一个坐标轴方向同步测量物体的位移、偏摆和俯仰角光路图

上图为一个具体的3-轴干涉镜和3-轴反射镜系统，光束由激光头发出后进入干涉镜，3-轴干涉镜把输入的光束分为三个部分：

信号光束1用于位移的测量，信号光束2用于俯仰角的测量，信号光束三用于偏摆角的测量。

所有的光束照射到被测物体（3-轴反射镜固定在被测物体上）后再次反射到干涉镜上，每个信号光束与反射的光束进行干涉，然后干涉光束传输到激光头里，进行信号分析后进入到软件里。


三轴测量软件（位移、偏摆和俯仰角）	三角关系的设定

测量结果的统计	在位置5开始测量

位移和角度的测量	ISO230数据统计标准

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