TS3000-SE Probe System

S3000-SE是TS3000探针台系统的升级开发，该系统配备了MPI ShielDEnvironment™，可实现超低噪声，满足设备的需求表征，晶圆级可靠性以及RF和mmW等多种应用。 优势：

• 适用于多种晶圆量测应用
• 模块量测 - DC-IV, DC-CV, Pulse-IV, ESD, 1/f，RTS
• 射频和毫米波 - 26 GHz 至 110 GHz 及以上
• 可靠性测试 - 精确的压力测试
• MPI ShielDEnvironment™ 屏蔽环境
• 专为 EMI / RFI / Light-tight 屏蔽所设计的精密量境，以得到的 1/f 超低噪测试结果
• 支援 fA 级超低噪 IV 量测
• 專為 EMI / RFI / Light-Tight 屏蔽所设计的精密量测环境
• 可编程的显微镜滑台实现自动化之简便操作
• 温度量测范围 -60 °C to 300 °C

ShielDEnvironment™

MPI ShielDEnvironment™是一个高性能的微暗室屏蔽系统，可为超低噪声、低电容测量提供出色的EMI和不透光的屏蔽测试环境。

ShielDCap™

MPI ShielDEnvironment™允许多达 4个端口的RF或多达8个端口的DC / Kelvin或高功率等多种测试组合。

探针悬停控制

MPI探针悬停控制PHC™允许轻松手动控制探针与晶片的接触和分离。分离距离可以通过测微计反馈精确控制，以实现探针到晶圆的精确定位。

快捷的晶圆装载

双前门通道和的卡盘设计使150、200、300mm晶圆，及微小器件的快速更换 两只陶瓷专用射频校准AUX卡盘位于前面，可以很方便地进行装卸。

集成硬件控制面板

智能硬件控制面板集成到探针系统中，并基于数十年的经验和客户互动而设计，隐藏式的键盘、鼠标增加整体美观。

温控系统

MPI和ERS共同设计了新型300 mm热卡盘AirCool®PRIME 系列，具有的热灵活性，可将变温时间减少60％， 减少转换时间，改善电气性能，在惰性气体气氛下进行更轻松的测试以及现场可升级性是AirCool®PRIME热卡盘系统的附加价值。 便捷式的触摸屏实时显示卡盘温度，该触摸屏位于操作员前方的便利位置，以实现快速的操作和即时的反馈。

ERS的AC3冷却技术

MPI旗下全系列探针台系统均采用ERS的AC3冷却技术和自我管理系统，可使用回收的冷却空气吹扫MPI ShielDEnvironment™，与市场上的其他系统相比，可大幅减少30％至50％的空气消耗。

安全测试管理（STM）系统

的STM系统可防止在测试过程中打开正门，以保证测试过程的安全，任何情况下都无法打开任何系统门。的智能露点控制程序可避免冷测试期间的积聚，系统自动监视CDA或氮气的流量。如果流量中断或流量不足，则STM™会自动将卡盘转换为安全模式，迅速将卡盘加热至露点以上。MPI STM™的功能是通过保持安全的测试环境，使TS3000-SE的测量更加安全，可靠和方便

仪器集成

可选的仪器架可缩短电缆长度，并提高 RF和mmW 应用中的测量动态性和方向性。

软件套件SENTIO®

MPI自动工程探针系统由且革命性的多点触摸操作控制SENTIO®软件套件，简单直观的操作节省了大量的培训时间。“滚动”，“缩放”，“移动”命令模仿了现代智能移动设备，使每个人都可以在短短几分钟内成为专家。在活动应用程序与其余APP之间的切换仅需简单的手指操作即可。