品 牌：Coxem

型号：SPT-20

该产品自动真空控制，条件设置简单，可以实现快速抽真空（<2min），对样品进行镀膜处理，完成镀膜后可以自动卸载真空。同时，样品高度的调节也十分方便。

技术指标：

1、电源：AC 220V，500W

2、重量：10kg

3、尺寸：420（W）x220（D）x230（H）mm

4、机械泵：50L/min（60Hz），AC 220V，150W，14.5kg

5、靶的尺寸：直径50.8mm

6、真空度：约0.1torr

7、zui 大低电压：~3kv

离子流控制范围：1~9mA

特点:

1全自动数字离子溅射镀膜机

2 可一键进行离溅射镀膜，完成镀膜后可自动卸载真空

3具有涂层电流反馈功能的稳定涂层

4可用于Au, Pt, Pd, Pt-Pd各种金属靶

5采用低噪音旋转泵