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ArisTT系列
描述:
一种轻巧紧凑的桌面主动隔振系统,用于抵消敏感的不必要振动的设备。流线型设计允许它无缝地成为工作站环境的一部分,简单简单并且不需后续的调整。由工程师、物理学家和具有精密结构专业知识的工业顾问开发,ArisTT在显著减少振动和干扰方面的有效性标志着它是实验室使用隔振的革命性和关键性工具。
产品规格:
1、性结构
2、6维主动隔振
3、主动隔振频率范围:0.5~100Hz
4、高阻尼阶跃响应
5、没有调试要求—安装极简
6、使用大多数实验室AFM、SEM隔振
7、可与工具的内部隔振串联操作
产业领域及应用:
1、分析工具:高分辨率台式显微镜AEM、SEM、ATM、TEM
2、半导体设备:光刻
3、纳米测量:纳米压痕机、轮廓仪、干涉仪
性能曲线图: