产品介绍

ESPI电子散斑干涉仪，用来解决漫反射表面的形变测量问题。PhaseCam ESPI动态电子散斑干涉仪，可以解决在现场环境下的表面沿轴向的一维形变测量问题，精度达到nm级，而不用考虑环境振动带来的影响。 应用于大口径拼接镜的背部支撑材料的微变形测量。经典应用案例：美国JWST太空望远镜的主镜的背部碳纤维支撑结构的微变形测量。

PhaseCam ESPI是在P6110的基础上开发的，采用532nm高能激光光源，对样品表面照射，表面的漫反射光进入干涉仪发生干涉，干涉图样为含有干涉信息的电子散斑噪声。对两次漫反射干涉的散斑进行波面相减操作，便可提取出样品面形变化引起的相位信息。对该相位信息解析，就可以获得形变量。由于采用了动态相移技术，即使在非隔振的环境下测量，也可以实现nm级测量精度。

常规属性

系统描述：对振动不敏感的泰曼格林型动态相移干涉仪

采集模式：采用相位相关探测器的瞬时相移式

激光器：532nm CW激光，18W

ESPI照明：双通道独立照明，光纤耦合

相干长度 gt;35m

光束直径：7 mm

相机像素：2000×2000 pixels

可测样品材料：碳纤维、殷钢、铝等漫反射表面

系统性能

RMS重复性：
RMS精度：
测试距离：可测2m-5m

测试覆盖范围：Φ

配置选项

球面扩束镜头：F/1 to F/32；