产品介绍

4D公司的大口径相移干涉仪，采用AccuFiz高分辨菲索干涉仪做为主机，扩束器设计紧凑，内部采用碳纤维支撑结构，最小化热灵敏度，保证长时间运行的稳定性。主机置于定位支架上，可以简单、快速、精确定位主机相对于扩束器的位置。

4D公司的大口径相移干涉仪，采用AccuFiz高分辨菲索干涉仪做为主机，扩束器设计紧凑，内部采用碳纤维支撑结构，最小化热灵敏度，保证长时间运行的稳定性。主机置于定位支架上，可以简单、快速、精确定位主机相对于扩束器的位置。能够轻松将AccuFiz主机取下来当做100mm口径干涉仪使用，进行独立的平面与球面测量。



分体式设计，使得干涉仪方便移动。具有如下特点：

- 高传函低噪声主机，清晰看到样品中高频特征

- 碳纤维支撑结构扩束器，最小化热灵敏度

- 短相干光源扩展模块，直接测量平行平面面形

常规属性

- 采集模式：机械相移，载波动态相

- 出光口径：300mm，或450mm，或600mm

- 工作波段：，可选1053nm, 1064nm

- 主机：AccuFiz-E100S或AccuFiz-H100S

相机像素：1200 x 1200 pixels或2400 x 2400 pixels， 12bit

系统性能

- 机械相移测量重复性 RMS

- 系统长期稳定性

配置选项

- Tip/Tilt Mount

光学口径：300mm，或450mm，或600mm

Tip/Tilt：±3º

旋转：360º连续悬挂式



- Phase-Shlfting Tip/Tilt Mount

光学口径：300mm，或450mm，或600mm

旋转：360º连续悬挂式

相移器：与干涉仪主机通过以太口相连，相移精度与4”口径无差别



- 参考镜和反射镜

装夹：封装在两维支架内或者吊索安装在结构件中

波前精度：λ/20或λ/10

参考平面镜镀膜：4%或20% (standard is uncoated both sides, attenuation coated has reflectance coatings and uncoated on the back)

反射镜镀膜：4% (uncoated one side, fine ground back side)