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实验型磁控溅射镀膜机(直流/中频/射频/离子源)利用真空磁控溅射镀膜方式,可在硅片、陶瓷、玻璃、石英、Ⅲ-Ⅴ族化合物、金属等材料表面镀制各种金属、非金属、化合物薄膜材料。如Al、Au、Pt、Cr、Ti、Ni、Cu、NiCr、TiW、W、SiO、AlO、TaN、ITO、AZO等,沉积的薄膜具有良好的均匀性、附着力,该设备具有溅射速率快、基片升温低、加热稳定等特点。适用于任意底色的塑料,陶瓷、树脂工艺品,玻璃等经真空镀膜后皆可镀成金、银、七彩、红、紫、蓝、灰、黑等多种鲜艳颜色,具有提高产品档次,外观更显华贵作用。
应用领域:实验型磁控溅射镀膜机(直流/中频/射频/离子源)实验用真空镀膜机主要用于科研、教学、电子元件、及涂料生产等行业的表面表面镀膜。
设备特点:实验型磁控溅射镀膜机(直流/中频/射频/离子源)具有外形美观、结构紧凑、性能多样、操作简单可靠、耗电量低的特点。可实现蒸发镀膜、磁控溅射镀膜、电弧镀膜等工艺。可进行手动、半自动、全自动控制.有多种尺寸型号可供选择。
设备型号 | HCLB-500 |
真空室尺寸 | Φ500×H600mm |
制膜种类 | 半透明膜、金、银、红、蓝、绿、灰、黑、七彩等多种颜色 |
电源类型 | 电阻加热钨丝蒸发变压器电源、高压离子轰击电源、可控硅电源 |
真空室结构 | 立式侧门结构,后置抽气系统 |
真空系统 | 分子泵+直联旋片泵准无油真空系统 |
极限真空 | 优于5.0×10-5Pa(如需更高真空度可配进口真空泵组) |
基片台尺寸 | 尺寸Φ120mm |
基片烘烤温度 | 室温~500℃,可调可控(PID控温)(可选择水冷机基片台)(更高烘烤温度可定制) |
基片运动方式 | 自转,转速0-20转/分可调可控 |
膜厚不均匀性 | ≤±(1.5~5.0)% |
溅射靶 | 磁控靶2支,预留2个靶位/2个电弧靶位 |
电源 | 直流电源/双极脉冲中频电源/射频电源可选,数量可选 |
报警及保护系统 | 对泵、靶、电极等缺水,过流过压,断路等异常情况进行报警并执行相应保护措施;完善的逻辑程序互锁保护系统 |
选购件 | 蒸发电弧+电弧电源、负偏压电源、循环水机、膜厚控制系统、进口部件等 |
抽气时间 | 空载大气抽至5×10-2pa小于6分钟 |
工件旋转方式 | 6轴/8轴/9轴公自转/变频无级调速 |
控制方式 | 手动+半自动+全自动一体化/触摸屏+PLC |
备注 | 真空室尺寸可按客户产品及特殊工艺要求订做 |
主要应用于科研、教学、电子元件、及涂料生产等行业。