大型板材管材真空镀膜机

大型板材管材真空镀膜机

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2023-10-23 11:26:49
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广东汇成真空科技股份有限公司

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产品简介

真空室中,利用气体放电或被蒸发物质部分离化,在气体离子或被蒸发物质粒子轰击作用的同时,将蒸发物或反应物沉积在基片上,明显改进了膜质量,而且还扩大了薄膜的应用范围,薄膜附着力强,绕射性好,膜材广泛。

详细介绍

大型板材管材真空镀膜机工作原理是离子镀在真空室中,利用气体放电或被蒸发物质部分离化,在气体离子或被蒸发物质粒子轰击作用的同时,将蒸发物或反应物沉积在基片上。离子镀把辉光放电现象、等离子体技术和真空蒸发三者有机结合起来,不仅能明显地改进了膜质量,而且还扩大了薄膜的应用范围。其优点是薄膜附着力强,绕射性好,膜材广泛等。多弧离子镀与一般的离子镀有着很大的区别。多弧离子镀采用的是弧光放电,而并不是传统离子镀的辉光放电进行沉积。简单的说,多弧离子镀的原理就是把阴极靶作为蒸发源,通过靶与阳极壳体之间的弧光放电,使靶材蒸发,从而在空间中形成等离子体,对基体进行沉积。
应用范围:可以镀制不锈钢、铬、钛、钨等多种金属膜,也可镀制合金膜或化合物,如TiN/TiAlN/CrN膜等,卧式多弧离子镀膜机主要针对大面积五金工件镀装饰膜或者功能膜,适合于在不锈钢板、不锈钢管、不锈钢门等工件表面镀膜。

特点:
1.装备低温离子辅助源,无需加热直接常温冷镀成膜,节能省电,提高产能。
2.此类设备真空室尺寸能实现 φ5000X10000MM(长)。
3.是在大型板材、管材上镀制各类装饰膜层及功能膜膜层的必选设备。

低温离子辅助镀膜源:
1、大面积离子放电,离化效应高, 提高结合强度,附着力特强。
2、离子分布均匀,大大地改善膜层的稳定性和均匀性。
3、离化效应好,不需加温直接镀制膜层,去掉传统的加热装置,节电30%以上,镀膜时间节省10%以上, 提高工效,实现低温镀膜。
4、发挥离化效应,无论是金属镀件、有色金属制品还是非金属镀件直接镀膜。
5、离化效应好,无论是不锈钢制品还是各类有色金属制品(如铜、铝、锌、镁等)不需水镀直接镀制膜层。
6、是在大型板材、管材上镀制各类装饰膜层及功能膜膜层的必选设备。

型号 HCCA-1800 HCCA-2000 HCCA-3000 HCCA-2000 HCCA-3000 HCCA-4000 HCCA-5000
真空室尺寸 φ1800x2000 φ2000x2000 φ3000x3000 φ2000x6000 φ3000x6000 φ4000x8000 φ5000x10000
真空室机构 立式开门、吊装或卧室推车结构配置抽气系统及水冷系统
真空机组 机械泵+罗茨泵+扩散泵/分子泵+维持泵
真空测量系统 一台皮拉尼(MKS) 一台冷阴极(MKS)一台薄膜规(MKS)
镀膜系统 电弧蒸发源、镀膜辅助离子专用电源
充气系统 质量流量计 质量流量计 质量流量计 质量流量计 质量流量计 质量流量计 质量流量计
电源类型 直流电源、中频电源、脉冲电源(偏压电源、弧电源)
控制方式 手动或
全自动
手动或
全自动
手动或
全自动
手动或
全自动
手动或
全自动
手动或
全自动
手动或
全自动
极限真空指标 5.0x10-4Pa 5.0x10-4Pa 5.0x10-4Pa 5.0x10-4Pa 5.0x10-4Pa 5.0x10-4Pa 5.0x10-4Pa
电弧源 22台-28台 22台-28台 26台-32台 26台-32台 32台-48台 32台-48台 32台-48台
200A-300A 200A-300A 200A-300A 200A-300A 200A-300A 200A-300A 200A-300A
偏压电源 60KW/台 60KW/台 70KW/台 70KW/台 80KW/台 80KW/台 100KW/台
磁控电源 —— —— —— —— —— —— ——
工作转动方式 多轴行星式公自转、变频调速(可控可调)
工作烘烤温度 常温-至450℃可控可调(PID温控)
工艺气体 3路或4路工艺气体流量控制及显示系统选配自动加气系统
氩气、氮气、氧气、乙炔等
冷却方式 水冷却循环方式,另配工业冷却水塔或工业冷水机(制冷机)或深冷系统。(客户提供)
控制方式 PLC+触摸屏操作或计算机控制,手动、半自动、自动方式
供给指标 气压0.5-0.8MPa、水温≤25℃、水压≥0.2MPa
报警及保护 对泵和靶等缺水、过流过压、断路等异常情况进行报警、并执行相应保护措施及电气联锁功能
整体总功率 165-185KW 185-200KW 200-225KW 225-245KW 225-245KW 265-300KW 265-300KW
输出频率 电压380V±5%,频率50HZ(可根据客户国家用电标准配置)
设备占地面积 25~55㎡ 35~55㎡ 35~55㎡ 45~55㎡ 45~55㎡ 55~75㎡ 55~75㎡
备注 以上设备参数仅做参考,具体均按客户实际工艺要求设计定做

应用范围:可以镀制不锈钢、铬、钛、钨等多种金属膜,也可镀制合金膜或化合物,如TiN/TiAlN/CrN膜等,卧式多弧离子镀膜机主要针对大面积五金工件镀装饰膜或者功能膜,适合于在不锈钢板、不锈钢管、不锈钢门等工件表面镀膜。

不锈钢板 不锈钢管 不锈钢板1

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