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在玻璃/PC/PMMA基片上形成高精度光学多层薄膜的精密真空镀膜机。将满足客户需求的多种元件组合在一起,可以形成品质更加优良的薄膜。
基片伞架采用了每分钟最多可转60转的中心旋转方式(公转),减少产生振动和颗粒,使基片能够稳定旋转。
采用坩埚上没有极片的电子束加热方式(2台电子枪,10kW型)作为蒸发源,可以稳定地形成多层膜。
采用本公司的比率控制法和多点在线监控,可以形成高精度且稳定的光学多层膜。
可利用操作性良好的升降机来取出基片伞架。
● 数码科技(成像、显示、电路、结构装饰件)
● 传统光学、眼镜
● 科学仪器、光通信、半导体、新能源