应用

►触控及光学镀膜产业
适用于显示器面板，触控面板及光学镀膜触控面板OGS关键设备及制程等产业的各类玻璃基板及软性基板
满足手机，平板，笔记型电脑，大尺寸电视应用
防反射（增透膜）：2AR，4AR，6AR
折射率匹配+ ITO（IMITO）
SiO2和ITO膜
钼/铝/钼膜
ITO膜

►太阳能产业
非晶矽3GW的a-Si PVD实绩达成
CIGS：钼，CuGa，镍，AZO，氧化锌
a-Si/ u型硅：铝，AZO，银，镍铬
HIT：ITO，银，铜应用

常用规格
·腔体材质
304不锈钢
·主泵
干泵或罗茨泵
涡轮分子泵
深冷泵
扩散泵等
·极限压力
空载≤8.0×10-7 托/24h
≤8.0×10-7 torr/24h
@Empty，Cleaning
·漏气率
≤1.0×10-9 托.升/秒
使用氦检漏仪
≤1.0×10-9 torr. l/sec
·卷绕速度
0.01～6.00米/分钟
0.01～6.00m/min
·靶材
金属：铝，铬，镍，钼，金等
氧化物：ITO,二氧化硅，等
·基片
薄膜（PET, PI, PC)
塑料，纺织品等
·厚度均匀性
≤±5% 有效区域
·附着力
99% （磁带测试）
99% （Taping test ）
·控制系统
人机界面控制(PLC + PC)
选择功能(手动/自动/半自动)
数据反馈和实时显示的功能