品牌
其他厂商性质
所在地
应用 | 电容器薄膜 | |
蒸发源 | 电阻加热 | |
基材 | PET、OPP、PVC、CPP等高分子薄膜、纸、金属箔等 | |
基材尺寸(宽度) | 670 mm max. | 670 mm max. |
卷绕率 | 1,200 m/min max. | |
膜厚分布 | ±5% (根据沉积条件而变化) | |
膜厚监测仪 | 传动监控器、涡流监控器、接触式电阻值监控器等 | |
前/后处理机制 | 基板加热、交直流轰击、射频轰击等 | |
主要疏散系统 | 油扩散泵、油扩散喷射泵 |