1.适用圆片尺寸: 2”、3”、4”；以及5x5,10x10,25x25方片

工艺工步：放置圆片（可辅助定中心） 启动 防溅罩到上位 真空吸片 防尘帽闭合 电机启动 吹氮气 低速滴胶 加速、高速匀胶 上刮边 下刮边

电机停止 防尘帽开启 防溅帽到下位 去真空、卸片（工艺结束）以上各工步流程为自动执行，其中防尘帽、防溅帽、真空具有手动功能；
主轴径向跳动≤0.02mm，轴向窜动≤0.04mm；
主轴转速：200～7000转/分，误差±20转/分,连续可调；
主轴加速度（空载）：0～3×10³rad/秒²，连续可调；
工艺工步时间：0～999.9秒，设定增量±0.1秒；
胶泵排出量：80立方厘米，滴胶量和速度可调；

适用胶液粘度范围：-4～10000 厘施；

2.主要指标检测方法；
主轴径向跳动及轴向窜动用百分表检查；
主轴转速用转速表检测，主轴加速度用记忆示波器检测；
两头滴胶量应基本一致，用目测无明显差异；
各气路、液路应密封可靠，无泄露现象；
操作、观察各机械、电器操作件及按键应灵活可靠，各显示应准确无误；
外观目视应平整、光滑，表面涂层不允许有脱落、破损等情况；
设备干运行16小时，湿运行16小时（转速3500r/m）。结束后取下四氟密封套观察其磨损情况。如有磨损应及时检查原因并进行更换。

接地可靠。

3.设备使用条件；
该设备在满足下列条件下应能正常工作。
电源条件：AC 220伏±10％，50赫，＞500瓦；
氮气条件：压强≥0.4兆帕，纯度≥99.99％；
真空条件：抽气量≥120立方分米/分，真空度≤-0.085MPa
排风条件：排风量≥2立方米/分，压强≥124帕；