DSN-MFC气体质量流量控制器(MFC)
　　DSN系列气体质量流量控制器, 即称Mass Flow Controller（缩写为MFC）, 不但具有质量流量计的功能，更重要的是，它能自动控制气体流量，即用户可根据需要进行流量设定，MFC自动地将流量恒定在设定值上，即使系统压力有波动或环境温度有变化，也不会使其偏离设定值。简单地说,质量流量控制器就是一个稳流装置, 是一个可以手动设定或与计算机联接自动控制的气体稳流装置。
　　标准量程（N2）；0～1，5、10，50，100，200，500，1000sccm；
　　准精度：±1％F.S；   重复精度：±0.2%F.S
　　响应时间：电特性 ＜10sec 气特性＜1～4sec
　　线性：±（0.5～1）％F.S  工作压差范围：0.05～0.3MPa
　　耐压：3，10MPa；  工作环境温度：5～65℃
　　输入输出信号电压：0～+5.00V(输入阻抗大于100K，输出电流不大于3mA
　　电源：+15V500mA、-15V500mA电连接器：D14pin
　　外形尺寸：130*28*121mm
　　重量：约1.0kg
　　接口尺寸：Swagelok :Φ3.Φ6.Φ1/16〞Φ1/8.....
　　VCR接头:Φ1/4〞.Φ1/8〞........