详细介绍
标准量程(N2):0~5、10、20、30、50、100、200、300、500SCCM; 0~1、2、3、5、10、20、30、50、100、200SLM;
准精度:±1%F.S;
重复精度:±0.2%F.S
响应时间:电特性 <10sec
气特性<1~4sec 气体流量控制器线性:±(0.5~1)%F.S
工作压差范围:0.05~0.3MPa
气体流量控制器耐压:3,10MPa;
工作环境温度:5~45℃
输入输出信号电压:0~+5.00V
电源:+15V500mA、-15V500mA(输入阻抗大于100K,输出电流不大于3mA)
电连接器:D14pin
外形尺寸:130*28*121mm
重量:约1.0kg
接口尺寸:Swagelok:Φ3.Φ6.Φ10.Φ1/4〞.Φ3/8〞.... VCR接头:Φ1/4〞.Φ3/8〞.Φ1/8〞........