MEB-600/800-热阻/电子束蒸发镀膜机设备-北京中科复华科技有限公司手机版

产品简介

电子束蒸发系统是化合物半导体器件制作中的一种重要工艺技术。它是在高真空状态下由电子束加热坩埚中的金属，使其熔融后蒸发到所需基片上形成金属膜。可蒸发很多难熔金属或者蒸汽压低的金属材料，包括Ta, W, Mo, Rh, C, B, Pt, Al2O3, ZnO, Pr2O3…VS5电子束蒸发镀膜机，台式设计、软件自动操控、高性价比，非常适合实验室科研使用

详细介绍

应用方向：科研与教学

产品优势：多功能，电子枪+热阻蒸发，膜厚监控

产品配置：

★样片数量及尺寸： 1片Φ8英寸或5片Φ4英寸或伞形工件架（用户定制）

★蒸发材料：金属；非金属；化合物等薄膜材料。

★蒸发腔体：高真空系统。

★蒸发不均匀性：≤±3%-±5％

★工件架：可旋转，转速可调

★加热：常规加热

★电子枪：E型，带XY偏转扫描

★电子枪坩埚：6穴，17cc

★膜厚监控功能：石英晶控膜厚在线监测与终点控制

★清洗功能：可选配离子源清洗

★器件一次成型复合实验系统：通过复合mask系统与样品对准系统，一次完成器件的多个工艺步骤

★检测与控制光学特性功能：可选配光控仪

★操作模式：全自动+半自动控制

类似产品： 大样片蒸发镀膜（MEB-800）