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450型电子束蒸发镀膜系统
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经销商沈阳科晶自动化设备有限公司是由毕业于美国麻省理工学院的江晓平博士于
2000年5月创建。与合肥科晶材料技术有限公司、深圳市科晶智达科技有限公司同属于科晶联盟。自*SYJ-150低速金刚石切割机诞生以来,沈阳科晶便开始了以赶超国外同行、材料分析设备潮流为目标的发展历程。时至今日,已经拥有涵盖材料切割、研磨、抛光、涂膜、镀膜、混合、压轧、烧结、分析等领域以及相关耗材的上百种产品,可以满足晶体、陶瓷、玻璃、岩相、矿样、金属材料、耐火材料、复合材料、生物材料等制备分析的全套需要。
产品简介:450型电子束蒸发镀膜系统用于制备导电薄膜、半导体薄膜、铁电薄膜、光学薄膜等,广泛应用于大专院校、科研机构的科研及小批量生产。
产品型号 | 450型电子束蒸发镀膜系统 |
技术参数 | 系统主要由蒸发真空室、E型电子枪、热蒸发电极、旋转基片加热台、工作气路、抽气系统、真空测量、电控系统及安装机台等部分组成。 技术指标: 极限真空度:≤6.7×10 Pa 恢复真空时间:从1×10 Pa抽至5×10 Pa≤20min 系统漏率:6. 7×10-7Pa.L/S; 真空室:真空室500x500 x600mm采用U型箱体前开门,后置抽气系统e型电子枪:阳极电压:6kv、8kv(1套) 坩埚:水冷式坩埚,四穴设计,每个容量11ml 功率:0-6KW可调 电阻蒸发源(可选) 电压:5、10V 功率:电流300A,大输出功率3Kw1套,可切换水冷电 极3根,组成2个蒸发舟 基片尺寸:可放置4″基片 样品台:基片可连续回转,转速5-60转/分基片与蒸发源之间距离300-350mm加温度 800°C±1°C,可调手动控制样品挡板组件1套 气路系统:质量流量控制器1路 石英晶振膜厚控制仪:监测膜厚显示范围:0-99μ9999Å |