GSL-1800X-ZF4蒸发镀膜仪

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GSL-1800X-ZF4蒸发镀膜仪

型号
沈阳科晶自动化设备有限公司

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沈阳科晶自动化设备有限公司是由毕业于美国麻省理工学院的江晓平博士于
2000年5月创建。与合肥科晶材料技术有限公司、深圳市科晶智达科技有限公司同属于科晶联盟。自*SYJ-150低速金刚石切割机诞生以来,沈阳科晶便开始了以赶超国外同行、材料分析设备潮流为目标的发展历程。时至今日,已经拥有涵盖材料切割、研磨、抛光、涂膜、镀膜、混合、压轧、烧结、分析等领域以及相关耗材的上百种产品,可以满足晶体、陶瓷、玻璃、岩相、矿样、金属材料、耐火材料、复合材料、生物材料等制备分析的全套需要。

详细信息

产品简介:GSL-1800X-ZF4蒸发镀膜仪是一款高真空的蒸发镀膜仪,特别适合蒸镀对氧较敏感的金属膜(如Ti、Al 、Au等)和小分子的有机物。本机设有4个蒸镀加热舟,每个加热舟都可独立进行蒸镀,加热舟上方有一个可旋转挡板,当其中一个加热舟进行蒸镀时挡板将其它三个钨舟遮住,以防蒸镀材料之间相互污染。若更改部分配置也可实现对有机材料的蒸发镀膜,可满足发光器件及有机太阳能电池方面的研究要求,是一款镀膜效果理想且性价比较高的实验设备。GSL-1800X-ZF4蒸发镀膜仪腔底部配有5个水冷电极,在工作过程中可有效保护电极温度不会因温度过高而熔化,进而损坏电极。该机采用金属腔室,具有*的真空度,真空度可达到5.0×10-7torr,样品台可对样品进行加热,加热温度为室温-500℃,是进行高真空蒸发镀膜的设备。

产品名称

GSL-1800X-ZF4蒸发镀膜仪

产品型号

GSL-1800X-ZF4

安装条件

本设备要求在海拔1000m以下,温度25℃±15℃,湿度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水:设备配有自循环冷却水机(加注纯净水或者去离子水)

2、电:AC220V 50Hz,必须有良好接地

3、工作台:落地式,占地面积2m2以上。

4、通风装置:需要

主要特点

1、真空控制单元全部集合在一个控制盒内。

2、采用独立的蒸镀电流控制器,操作方便快捷。

3、真空腔体设有1个KF40旁抽阀(直接与前级机械泵相连,提高效率)、1个CF150闸板阀(直接与分子泵相连)、1个KF16法兰(安装电阻规)、6个CF35法兰(1个安装电离规,1个安装2芯电极,1个安装膜厚仪)
3个备用。

4、在腔体底部配有5个水冷电极,可支持4个蒸镀加热舟。

5、样品台安装在腔体的顶部。

6、腔内可装高分辨率的薄膜测厚仪,膜厚测量分辨率(铝)为0.1Å。

7、可使用循环水冷机。

技术参数

1、输入:单相AC220V,50Hz/60Hz,功率<2.16KW(不含真空泵)

2、蒸发输出:电压AC 0-8V连续可调,极限蒸发电流200A,极限蒸发功率<1.6KW

3、真空腔:Ø300mm(内径)×400mm,不锈钢,内壁经电抛光处理

4、观察窗:Ø100mm,采用密封圈密封

5、真空泵:高抽速涡轮分子泵,抽速600L/s

6、真空度:8.0x10-4Pa

7、极限真空8.0x10-5Pa

8、漏率:6.7×10-8Pa·L/S

9、样品台:φ120

10、蒸发舟与样品台间距:150-210mm

11、冷却水需量:15L/min

产品规格

尺寸:900mm×1100mm×1800mm;重量:230kg

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