GSL-1100X-SPC-16C溅射蒸镀膜仪

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GSL-1100X-SPC-16C溅射蒸镀膜仪

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沈阳科晶自动化设备有限公司

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沈阳科晶自动化设备有限公司是由毕业于美国麻省理工学院的江晓平博士于
2000年5月创建。与合肥科晶材料技术有限公司、深圳市科晶智达科技有限公司同属于科晶联盟。自*SYJ-150低速金刚石切割机诞生以来,沈阳科晶便开始了以赶超国外同行、材料分析设备潮流为目标的发展历程。时至今日,已经拥有涵盖材料切割、研磨、抛光、涂膜、镀膜、混合、压轧、烧结、分析等领域以及相关耗材的上百种产品,可以满足晶体、陶瓷、玻璃、岩相、矿样、金属材料、耐火材料、复合材料、生物材料等制备分析的全套需要。

详细信息

产品简介:GSL-1100X-SPC-16C溅射蒸镀膜仪配备了热蒸发附件,具有溅射和蒸发两种功能。不但可以用等离子溅射的方式镀金属膜,也可以用蒸发的方式得到碳或其他金属单质的薄膜。GSL-1100X-SPC-16C溅射蒸镀膜仪能够满足扫描电子显微镜样品表面喷金、蒸金或蒸碳过程使用以及非导体材料实验电极的制作,也可以用于材料研究中各种新材料性能的实验。本机体积小,节省实验室空间,操作简单,清理方便,适合初学人员的使用,尤其适用于各大高校的实验室、科研院所、及各企业的实验室的使用。

 

产品名称

GSL-1100X-SPC-16C溅射蒸镀膜仪

产品型号

GSL-1100X-SPC-16C

安装条件

本设备要求在海拔1000m以下,温度25±15,湿度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水:不需要

2、电:AC220V 50Hz,必须有良好接地

3、气:设备腔室内需充注氩气(纯度99.99%以上),需自备氩气气瓶(带减压阀)

4、工作台:尺寸600mm×600mm×700mm,承重50kg以上

5、通风装置:不需要

主要特点

配备了热蒸发附件,可以蒸发碳丝或者其他材料,如铝、不锈钢等材料,同时具有溅射和蒸发的功能。因此扩展了应用范围,特别适用于扫描电镜样品表面喷金或蒸金、蒸碳使用

技术参数

1、靶:Ø50mm

2、样品台:Ø50mm

3、真空室:Ø160mm×110mm

4、真空度:4×10-1mbar-2×10-2mbar

5极限电流:50mA

6、可设定极限时间:9999s

7极限电压:1600V  DC可调

8、真空泵:4L两级机械旋转泵,极限真空2×10-2mbar(也可选配国产分子泵)

产品规格

尺寸:L400mm x W310mm x H390mm     重量:50 kg

标准配件

1

金靶材

1

2

碳绳

1

3

钨丝篮

2

4

热蒸发附件

1

5

进气针阀

1

6

保险丝

2

可选配件

金、铟、银、白金等各种靶材

 

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