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OTF-1200X-RTP-II近距离蒸发镀膜（CSS）炉
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沈阳科晶自动化设备有限公司是由毕业于美国麻省理工学院的江晓平博士于
2000年5月创建。与合肥科晶材料技术有限公司、深圳市科晶智达科技有限公司同属于科晶联盟。自*SYJ-150低速金刚石切割机诞生以来，沈阳科晶便开始了以赶超国外同行、材料分析设备潮流为目标的发展历程。时至今日，已经拥有涵盖材料切割、研磨、抛光、涂膜、镀膜、混合、压轧、烧结、分析等领域以及相关耗材的上百种产品，可以满足晶体、陶瓷、玻璃、岩相、矿样、金属材料、耐火材料、复合材料、生物材料等制备分析的全套需要。
详细信息
产品简介：OTF-1200X-RTP-II近距离蒸发镀膜（CSS）炉是一款快速蒸发管式炉，专门用于PVD或CSS法制作薄膜；其炉管外径为11″，炉管内载样盘可放置3″ 的圆形或2″×2″的方形基片；OTF-1200X-RTP-II近距离蒸发镀膜（CSS）炉加热元件为两组红外灯管，分别安装在腔体顶端和底部，升温速率高达20℃/s ，可迅速使炉腔内温度升高；冷却速率：>10℃/s，可在镀膜后使样品快速降温；温控系统采用PID30段程序化控制，控温精度为±1℃，并且仪器面板上带有RS485接口，若仪表内配有控温软件，就可将升温程序和曲线导出。
产品型号 | OTF-1200X-RTP-II近距离蒸发镀膜（CSS）炉 |
| 安装条件 | 本设备要求在海拔1000m以下，温度25℃±15℃，湿度55%Rh±10%Rh下使用。 1、水：设备需选配自循环冷却水机（加注纯净水或者去离子水） 2、电：AC220V 50Hz（20A空气开关），必须有良好接地 3、气：设备腔室内需充注氩气（纯度99.99%以上），需自备氩气气瓶（自带Ø6mm双卡套接头） 4、工作台：设备为落地式，占地面积1m2以上 5、通风装置：需要 |
主要特点 | 1、为了减小热辐射和达到快速冷却的效果，加热元件被嵌在水冷机构上。 2、紧贴顶部加热元件上装有一氮化铝基片（Ø76mm×0.5mm），使得样品基片上的温度更加均匀。 3、3″的石墨坩埚可放于底部加热元件上，用于盛放蒸发料。 4、真空法兰通过两个硅胶O型圈进行密封，通过机械泵其腔内真空度可达10-2torr，通过分子泵真空度可达10-5 torr。 5、两个真空法兰都可以通过手动操作进行上下移动。 6、一个数字式真空显示计安装在法兰顶部，可以精确测量腔内真空度。 |
技术参数 | 1、电源：单相AC208V-240V（需20A的空气开关） 2、真空腔体：高纯石英管，外径280mm，内径275mm，高229mm 3、加热元件：两组IR红外灯管，额定功率800W，总功率1600W 4、热电偶：S型热电偶2个，分别安装于上下法兰上 5、工作温度：两个加热区域单独工作温度≤650℃，两加热区域大温差≤350℃ 6、加热速率：>8℃/s 7、冷却速率：>10℃/s（600℃-100℃） 8、真空法兰：316不锈钢制作，配有1个KF-25接口、2个1/4″软管接头 9、真空计：数字式真空显示计 |
可选配件 | 1、PC控温软件 2、两路混气系统 3、多路浮子混气系统 4、多路质子混气系统 5、真空泵 6、水冷机 |
