Etchlab200 经济型反应离子刻蚀机(可升级)-环保在线-手机站

深圳市蓝星宇电子科技有限公司

免费会员

进入商铺全部产品

该企业相似产品

PlasmaPro 80 ICP 英国牛津OXFORD 等离子体刻蚀机

在线询价

PlasmaPro 80 RIE 牛津等离子体刻蚀机

在线询价

RIE SI 591 等离子刻蚀机

在线询价

PlasmaPro 100 ALE牛津原子层刻蚀机

在线询价

Ionfab 300 IBE 牛津离子束刻蚀机

在线询价

SI 500 等离子刻蚀机

在线询价

PlasmaPro 800 RIE反应离子刻蚀机

在线询价

主营产品公司介绍

深圳市蓝星宇电子科技有限公司，经过十多年的紫外光专业技术沉淀，可以根据客户特殊要求提供定制化服务，研发设计组装：紫外臭氧清洗机（UV清洗机），准分子清洗机，等离子清洗机/去胶机等科研以及生产设备，拥有自主品牌及注册商标。同时我们代理欧美日多家高科技设备厂家高性价比产品, 始终坚持创新, 技术, 服务, 诚信的企业文化，为广大中国及海外客户提供的仪器设备和材料的整体解决方案。应用领域: 半导体/微纳，光电/光学, 生命科学/生物医疗等领域的研发和生产, 客户群体例如高等院校, 研究所，科技企业及医疗机构等。半导体/微纳，光电/光学产品主要有：德国ParcanNano（Nano analytik）针尖光刻机，电子束光刻机, 激光直写光刻机，紫外光刻机，微纳3D打印机，德国Sentech刻蚀机/镀膜机及原子沉积，英国HHV磁控/电子束/热蒸发镀膜机，微波离子沉积机MPCVD，芬兰Picosun原子层沉积机，电子显微镜, 德国Bruker布鲁克原子力显微镜/微纳表征/光谱仪, 美国THERMO FISHER赛默飞光谱/色谱/质谱/波谱仪，美国Sonix超声波显微镜, 德国耐驰Netzsch热分析仪, 德国Optosol吸收率发射率检测仪, 日本SEN UV清洗机/UV清洗灯，美国Jelight紫外清洗机/紫外灯管，德国Diener等离子清洗机等*技术产品。生命科学/生物医疗产品主要有：PCR仪，核酸质谱仪/核酸检测仪，电子显微镜，紫外设备，光谱/色谱/质谱/波谱仪，生物芯片，试剂，实验耗材等。并可依据客户需求，研发定制相关产品。我们以高性价比的优势为客户提供优质的产品与服务，为高等院校, 研究所，科技企业及医疗机构等客户提供仪器设备和材料。

详细信息

Etchlab200 德国Sentech 经济型反应离子刻蚀机(可升级)

经济型等离子刻蚀设备EtchLab 200 具备低成本效益高的特点，并且支持揭盖直接放置样片。EtchLab 200 允许通过载片器，实现多片工艺样品的快速装载，也可以直接快速地把样品装载在电极上。RIE等离子体刻蚀设备具备占地面积小，模块化和灵活性等设计特点。

商品描述：

低成本效益高

RIE等离子蚀刻机Etchlab 200结合平行板等离子体源设计与直接置片。

升级扩展性

根据其模块化设计，等离子蚀刻机Etchlab 200可升级为更大的真空泵组，预真空室和更多的气路。

SENTECH控制软件

该等离子刻蚀机配备了用户友好的强大软件，具有模拟图形用户界面，参数窗口，工艺编辑窗口，数据记录和用户管理。

Etchlab 200 RIE等离子刻蚀机代表了直接置片等离子刻蚀机家族，它结合了RIE的平行板电极设计和直接置片的成本效益设计的优点。Etchlab 200的特征是简单和快速的样品加载，从零件到直径为200mm或300mm的晶片直接加载到电极或载片器上。灵活性、模块性和占地面积小是Etchlab 200 的设计特点。位于顶部电极和反应腔体的诊断窗口可以方便地容纳SENTECH激光干涉仪或OES和RGA系统。椭偏仪端口可用于SENTECH原位椭偏仪进行原位监测。

Etchlab 200等离子蚀刻机可以配置成用于刻蚀直接加载的材料，包括但不限于硅和硅化合物，化合物半导体，介质和金属。

Etchlab 200通过*的SENTECH控制软件操作，使用远程现场总线技术和用户友好的通用用户界面。

Etchlab 200