- 面议
参考价：
起订量：
FPANG-SE200BA-MSP 反射式光谱椭偏仪
- 型号
- FPANG-SE200BA-MSP
该企业相似产品
孚光精仪公司品牌源于早期的东欧地区和德国进口光学材料和仪器的进口服务。公司创始股东们足迹遍布捷克，爱沙尼亚，罗马尼亚，白俄罗斯，立陶宛,法国，英国，意大利，奥地利，丹麦，比利时，以及德国 汉堡，法兰克福，柏林，慕尼黑，纽伦堡，德累斯顿等科技强国和强市，对整个欧洲特别是东欧和德国的技术产品和精密仪器的质量有可靠的把握。长期以来，德国在科学研究、技术创新和仪器研发领域具有的优势。德国的科学仪器以技术*，质量可靠而著称。孚光精仪早期专注于选择德国和东欧国家可靠的供应商，为用户提供了道质量保障。公司派送员工前往原厂进行技术培训，从而具备为远东地区用户提供快速高效的技术服务能力，这一举措深得用户和制造商的高度赞誉。因此，孚光精仪的事业在服务客户的同时获得超常发展,快速成长为*仪器的规模型供应商和技术服务商。目前，孚光精仪已经把产品原产地扩展到整个欧洲和美国，形成了以欧洲和美国为供货来源地的良好局面。
详细信息
这款反射式光谱椭偏仪MSP具有250-1000nm的波长范围，可与显微分光光度计联合使用，测量极小斑点的薄膜厚度和折射率，可广泛用于MEMS，半导体晶圆等领域,是反射光谱椭偏仪品牌中光谱椭偏仪价格较低的椭偏仪。
spectroscopic ellipsometer,从深紫外到可见光再到近红外.深紫外波长非常适合测量超薄薄膜，比如纳米厚度薄膜厚度，比如硅晶圆的薄膜厚度，典型值在2nm左右。对于测量许多材料的带隙，深紫外光谱椭偏仪也非常重要。
椭圆偏振技术是通过研究光束在样本表面反射后偏振态变化而获得表面薄膜厚度等信息的薄膜测量技术。
与反射计或反射光谱技术不同的是，光谱椭偏仪参数Psi 和Del并非在常见入射角下获得。通过改变入射角大小，可获得许多组数据，这样就非常有助于优化椭偏仪测量薄膜或样本表面的能力，因此变角椭偏仪功能远远大于固定角椭偏仪。
改变椭偏仪入射角的方法有两种，一种是手动调节，一种是自动调节入射角，我们可提供两种模式的椭偏仪。
反射式光谱椭偏仪MSP特色
易于安装，拆卸和维护
*的光学设计
自动改变入射角，入射角分辨率高达0.01度
高功率250-1100nm光源适合多种应用
采用阵列探测器确保高速测量
测量薄膜膜堆的薄膜厚度和折射率
可用于实或在线监测薄膜厚度和折射率
具有齐全的光学常数数据库
提供工程师模式，服务模式和用户模式三种使用模式
灵活的工程师模式用于各种安装设置和光学模型测量
一键快速测量
全自动标定和初始化
精密样品准直界面直接样品准直，不需要额外光学
精密高度和倾斜调整
适合不同材料和不同后的样品衬底基片
2D和3D数据显示输出
反射式光谱椭偏仪MSP参数
波长范围：250-1000nm， 与显微分光光度计联合使用时400-850nm
波长分辨率：~1nm
测量点大小：1-5mm可调
入射角：10-90度可调
入射角分辨率：0.01度
数字成像：130万像素
有效放大倍数：1200X
物镜工作距离：12mm
显微分光光度计光束大小： 10-500微米可调
可测样品大小：高达300mm 直径
可测样品厚度：高达20mm
测量薄膜厚度：0nm ---10um
测量时间：~1s/点
精度：~0.25%
重复精度：<1A
反射式光谱椭偏仪MSP可选配件
反射或透射光度测量配件
微点测量小面积
X-Y位移台用于厚度绘图
加热台/制冷台用于薄膜动力学研究
垂直样品安装测角计
波长拓宽到IR范围
扫描单色仪配置
spectroscopic ellipsometer,从深紫外到可见光再到近红外.深紫外波长非常适合测量超薄薄膜，比如纳米厚度薄膜厚度，比如硅晶圆的薄膜厚度，典型值在2nm左右。对于测量许多材料的带隙，深紫外光谱椭偏仪也非常重要。
椭圆偏振技术是通过研究光束在样本表面反射后偏振态变化而获得表面薄膜厚度等信息的薄膜测量技术。
与反射计或反射光谱技术不同的是，光谱椭偏仪参数Psi 和Del并非在常见入射角下获得。通过改变入射角大小，可获得许多组数据，这样就非常有助于优化椭偏仪测量薄膜或样本表面的能力，因此变角椭偏仪功能远远大于固定角椭偏仪。
改变椭偏仪入射角的方法有两种，一种是手动调节，一种是自动调节入射角，我们可提供两种模式的椭偏仪。
反射式光谱椭偏仪MSP特色
易于安装，拆卸和维护
*的光学设计
自动改变入射角，入射角分辨率高达0.01度
高功率250-1100nm光源适合多种应用
采用阵列探测器确保高速测量
测量薄膜膜堆的薄膜厚度和折射率
可用于实或在线监测薄膜厚度和折射率
具有齐全的光学常数数据库
提供工程师模式，服务模式和用户模式三种使用模式
灵活的工程师模式用于各种安装设置和光学模型测量
一键快速测量
全自动标定和初始化
精密样品准直界面直接样品准直，不需要额外光学
精密高度和倾斜调整
适合不同材料和不同后的样品衬底基片
2D和3D数据显示输出
反射式光谱椭偏仪MSP参数
波长范围：250-1000nm， 与显微分光光度计联合使用时400-850nm
波长分辨率：~1nm
测量点大小：1-5mm可调
入射角：10-90度可调
入射角分辨率：0.01度
数字成像：130万像素
有效放大倍数：1200X
物镜工作距离：12mm
显微分光光度计光束大小： 10-500微米可调
可测样品大小：高达300mm 直径
可测样品厚度：高达20mm
测量薄膜厚度：0nm ---10um
测量时间：~1s/点
精度：~0.25%
重复精度：<1A
反射式光谱椭偏仪MSP可选配件
反射或透射光度测量配件
微点测量小面积
X-Y位移台用于厚度绘图
加热台/制冷台用于薄膜动力学研究
垂直样品安装测角计
波长拓宽到IR范围
扫描单色仪配置
