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等离子体刻蚀终点检测仪
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气体分析仪
北京英格海德分析技术有限公司是世界分析仪器制造商在中国的代理。多年来，我们在客户中建立了良好的声誉。我们的客户多数都是工作在新技术研究的前沿，如催化化学、氢能研究、等离子体物理、表面科学、大气环境监测、半导体材料和微纳米测量领域。我们与他们保持着密切的、积极的关系。 我们在为客户提供世界仪器设备的同时，还为他们提供了及时周到的售后服务，让用户无后顾之忧，使其专心科研。
详细信息
IMP离子蚀刻探针（Ion Milling Probe），自带差式泵，坚固的二次离子质谱仪，适于分析离子蚀刻过程中的二次离子和中性粒子。的专业终点检测（End Point Detection）仪器，用于离子蚀刻控制以及过程优化监测。
·差式泵歧管，经连接法兰，接到过程室
·离子光学器件，带能量分析器和内置离子源
·Penning规和互锁装置，以提供过压保护
·数据系统与过程控制工具整合
·高灵敏度的 SIMS / MS，带脉冲离子计数检测器
·三级过滤四极杆，标准配置质量数为300amu
·稳定性(24h以上，峰高变化小于 ±0.5%)
·通过 RS232、RS485或以太网， 软件MASsoft控制
·程控DDE, 平行数字式I/O，RS232通讯
IMP Series End Point Detectors (903 KB)
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