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PSM等离子体质量和能量分析质谱仪
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北京英格海德分析技术有限公司是世界分析仪器制造商在中国的代理。多年来，我们在客户中建立了良好的声誉。我们的客户多数都是工作在新技术研究的前沿，如催化化学、氢能研究、等离子体物理、表面科学、大气环境监测、半导体材料和微纳米测量领域。我们与他们保持着密切的、积极的关系。 我们在为客户提供世界仪器设备的同时，还为他们提供了及时周到的售后服务，让用户无后顾之忧，使其专心科研。
详细信息
PSM是一台差式泵质谱仪（In-Line Plasma Analysers for Neutrals, Radicals and Ion Analysis），分析等离子过程中的二次离子和中性粒子。
·差式泵歧管，通过法兰与过程反应室连接
·电子附着选件，具有可调谐的离子源，用于表观电势MS
·Penning规和互锁装置可提供过压保护
·信号选通分辨率1μs，用于研究脉冲等离子体或能量、质量分布VS时间
·标准分析中性粒子、自由基，+ve / -ve 离子分析可选
·灵敏度高 / 极稳定的3级过滤四极杆
·质量数范围： 0 ~ 2500amu
·脉冲离子计数检测器，7个数量级的动态范围
·能量分析选件，标准 ±100eV（1000eV可选 ）
·Mu-Metal, Radio-metal屏蔽可选， 高压操作可选
·通过RS232、RS485或Ethernet LAN ，软件MASsoft 控制
Mass Spectrometers for Thin Films, Plasma and Surface Engineering (1.1 MB)
Mass Analysis of CF3I Decomposition in a Surface Barrier Discharge - GEC 2011 (2.8 MB)
Mass Spectroscopy of Metastable Atomic Species in Gas Analysis and Processing Plasmas at High Spectrometer Source Pressures - AVS 2011 (1.6 MB)
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Time Resolved Ionisation Studies of HIPIMS - PSE 2006 (848 KB)
Mass Spectrometry in HiPIMS Plasmas - COST Workshop 2012 (3.2 MB)
