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PEV-1压电阀是为了适用于要求精确控制气体流量的场合，主要应用领域包括：磁控溅射，光学镀膜，太阳能电池，ITO，等离子体刻蚀等。
PEV-1压电阀主要技术特点:
1、控制模式：开环控制和闭环控制
2、易于集成：可与国产自动压强控制仪配套使用，来实现闭环控制，达到稳定压强的目的，性价比高，同时亦可选择进口压强控制仪
3、响应时间快
4、性能稳定，压电陶瓷片寿命长
5、无机械连接件，无伺服马达，无磨损，在断电的情况下可实现自动关闭的特点
技术参数：
流量：0¬—500 scmm
响应时间：2 毫秒
漏率：1*10-9sml/sec
电压：0—100VCD
温度范围:10摄氏度至60摄氏度
zui大入口压强:50PSI
