产品简介
INFICON的 Pirani 标准真空计 PSG500 和 PSG502-S 代表封装在坚固耐用小型管壳内的的Pirani技术.温度补偿提供快速与Z稳定的真空测量并消除了对大气压强反应慢的问题. 坚固耐用的不锈钢传感单元更适用于半导体系统, 以及常规用途如前级真空管道中
详细介绍
INFICON的 Pirani 标准真空计 PSG500 和 PSG502-S 代表封装在坚固耐用小型管壳内的的Pirani技术.温度补偿提供快速与zui稳定的真空测量并消除了对大气压强反应慢的问题. 坚固耐用的不锈钢传感单元更适用于半导体系统, 以及常规用途如前级真空管道中.特点： 占空间小 任何方位安装 不锈钢测量单元的金属密封馈入件 *化的温度补偿 易于集成的对数讯号输出 至10巴压力的高过压能力，用螺纹连接件 烘烤型在法兰处可达到250 °C 易于更换的传感单元 应用： 控制高真空电离真空计 前级真空压强监测 真空系统中的安全电路 在中真空和粗真空范围内的一般真空测量与控制
