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扫描电镜是一种用途广泛的科学研究仪器,是通过电子束来成像的,,其放大倍数可达几十万倍,分辨率可达纳米级别,是形貌和成分分析领域极其重要的一种工具。
扫描电镜测试原理:
扫描电镜利用高能量电子束轰击样品表面,激发出样品表面的各种物理信号,再利用不同的信号探测器接受物理信号转换成图像信息,可对陶瓷、金属、粉末、塑料等样品进行形貌观察和成分分析。
扫描电镜测试项目:
SEM:形貌观察,利用背散射电子(BEI)和二次电子(SEI)来成像,可放大倍率5-100万倍 。
EDS:成分分析(半定量),通过特征X-RAY获取样品表面的成分信息,测量Be及以上元素。
样品要求:
1.试样为不同大小的固体(块状、薄膜、颗粒),并可在真空中直接进行观察。
2.试样应具有良好的导电性能,不导电的试样,其表面一般需要蒸涂一层金属导电膜
扫描电镜的运用:
扫描电镜相关测试常和切片技术结合一起做相关测试,如:
IMC观察
锡须观察
表面成分分析
表面异物分析
颗粒物成分分析
微观尺寸量测
金属镀层/涂层厚度检测