固态微波远程等离子体源
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面议项目 | 特征 |
频率 | 2450MHz |
微波功率 | 额定1.5kW，3kW |
功率稳定度 | ≤1% |
适用气体 | O2，N2, H2, Ar, He, CF4, SF6， CI2 等 |
运行气压范围 | 0.06-20 Torr |
气体流量范围 | 0.1-10 slm |
等离子发生腔材质 | 石英、陶瓷、蓝宝石可选 |
电源输入 | 单相交流 110-264V/50-60Hz |
冷却方式 | 循环水冷， 8L/MIN， 5-25℃， 1/4"快速接口（固态微波源部分） |
控制接口 | DB9F / RJ45 |
等离子输出端口 | ISO-K 63 |
外形尺寸 | 350*250*140mm (等离子体放电腔部分) |
整体重量 | 50KG |
前道及后道半导体生产工序中的去胶
前道及后道半导体生产工序中的刻蚀
柔性PCB卷对卷工艺制作中聚酰亚胺薄膜的刻蚀
材料表面处理
等离子体放电腔
固态微波源
