XUV窄带反射镜-北京众星联恒科技有限公司手机版

详细介绍

公司介绍：

NTT-AT有着多年的X射线、极紫外光学配件的研发与销售经验。在范围内，通过与众多来自同步辐射科学，阿秒科学，高强度物理学等领域的科学研究者开展紧密合作，积累了大量*的设计与制造技术，其产品在业内享有很高的评价。NTT-AT提供的菲涅尔波带片有着高分辨率，高聚光效率等特点，适合被各种辐射光设施使用。另外，分辨率测试卡被当作业界的标准。不只是学术研究，在X射线的检查装置开发现场也被广泛使用。XUV镜片，XUV滤波片不仅对阿秒科学有着帮助，对下一代的光刻研究也有这重要作用。NTT-AT将在XUV,EUV, X线领域给予客户在研发上的帮助。

产品介绍：

北京众星联恒科技有限公司

No	Design name	AOI	pol.	peak energy		reflectivit	bandwidth (FWHM)
1	HR-98-3.4	5 deg	s	98 eV	12.7 nm	67.7%	3.4 eV	(0.4 nm)
2	HR-95-3.8	5 deg	s	95 eV	13.1 nm	67.7%	3.8 eV	(0.5 nm)
3	HR-90-3.8	5 deg	s	90 eV	13.8 nm	68.0%	3.8 eV	(0.6 nm)
4	HR-85-4.0	5 deg	s	85 eV	14.6 nm	66.8%	4.0 eV	(0.7 nm)
5	HR-80-4.0	5 deg	s	80 eV	15.5 nm	63.3%	4.0 eV	(0.8 nm)
6	HR-75-4.6	5 deg	s	75 eV	16.5 nm	54.5%	4.6 eV	(1.0 nm)
7	HR-70-5.0	5 deg	s	70 eV	17.7 nm	47.5%	5 eV	(1.2 nm)
8	HR-70-2.6	5 deg	s	70 eV	17.7 nm	52.1%	2.6 eV	(0.7 nm)
9	HR-65-2.6	5 deg	s	65 eV	19.1 nm	48.5%	2.6 eV	(0.8 nm)
10	HR-60-2.8	5 deg	s	60 eV	20.7 nm	43.7%	2.8 eV	(1.0 nm)
11	HR-55-3.6	5 deg	s	55 eV	22.5 nm	37.3%	3.6 eV	(1.5 nm)
12	HR-50-4.2	5 deg	s	50 eV	24.8 nm	30.9%	4.2 eV	(2.1 nm)
13	HR-48-2.0	5 deg	s	48 eV	25.8 nm	50.6%	2.0 eV	(1.1 nm)
14	HR-45-2.4	5 deg	s	45 eV	27.6 nm	48.4%	2.4 eV	(1.4 nm)
15	HR-40-2.6	5 deg	s	40 eV	31.0 nm	44.8%	2.6 eV	(2.0 nm)
16	HR-35-2.6	5 deg	s	35 eV	35.4 nm	43.1%	2.6 eV	(2.6 nm)
17	HR-30-3.0	5 deg	s	30 eV	41.3 nm	41.2%	3.0 eV	(4.1 nm)
18	HR45-90-6.0	45 deg	s	90 eV	13.1 nm	66.1%	6.0 eV	(0.9 nm)
19	HR45-80-7.4	45 deg	s	80 eV	15.5 nm	60.0%	7.4 eV	(1.4 nm)
20	HR45-70-36.0	45 deg	s	70 eV	17.7 nm	49.0%	3.6 eV	(0.9 nm)
21	HR45-60-5.4	45 deg	s	60 eV	20.7 nm	40.8%	5.4 eV	(1.8 nm)
22	HR45-50-10.0	45 deg	s	50 eV	24.8 nm	30.0%	10.0 eV	(5.1 nm)
23	HR45-40-5.0	45 deg	s	40 eV	31.0 nm	44.4%	5.0 eV	(3.8 nm)
24	HR45-30-7.0	45 deg	s	30 eV	41.3 nm	42.5%	7.0 eV	(9.3 nm)

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XUV显微
EUV光刻
等离子体物理
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