XUV透射光栅
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公司介绍：
NTT-AT有着多年的X射线、极紫外光学配件的研发与销售经验。在范围内，通过与众多来自同步辐射科学，阿秒科学，高强度物理学等领域的科学研究者开展紧密合作，积累了大量*的设计与制造技术，其产品在业内享有很高的评价。NTT-AT提供的菲涅尔波带片有着高分辨率，高聚光效率等特点，适合被各种辐射光设施使用。另外，分辨率测试卡被当作业界的标准。不只是学术研究，在X射线的检查装置开发现场也被广泛使用。XUV镜片，XUV滤波片不仅对阿秒科学有着帮助，对下一代的光刻研究也有这重要作用。NTT-AT将在XUV,EUV, X线领域给予客户在研发上的帮助。
产品介绍：
定制透射光栅，可用于光谱仪，光束轮廓监测和分束。
Ta/SiN双涂层或SiN单涂层自支撑光栅，具有侧壁粗糙度低，清晰度高等特点，非常适用于XUV衍射实验
基本参数：
Ta/SiN type | SiN type | |
光栅区域 | 2 × 2 mm | |
刻线数 |
100 – 1200 lines/mm | |
支撑条 |
500 nm width, 50 μm pitch | |
材料 | Ta (100 nm) and SiN (100 nm) | SiN (100 nm) |
框架 |
10 × 10 × 0.625 mm Si | |
