XUV掠入射反射镜
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公司介绍：
NTT-AT有着多年的X射线、极紫外光学配件的研发与销售经验。在范围内，通过与众多来自同步辐射科学，阿秒科学，高强度物理学等领域的科学研究者开展紧密合作，积累了大量*的设计与制造技术，其产品在业内享有很高的评价。NTT-AT提供的菲涅尔波带片有着高分辨率，高聚光效率等特点，适合被各种辐射光设施使用。另外，分辨率测试卡被当作业界的标准。不只是学术研究，在X射线的检查装置开发现场也被广泛使用。XUV镜片，XUV滤波片不仅对阿秒科学有着帮助，对下一代的光刻研究也有这重要作用。NTT-AT将在XUV,EUV, X线领域给予客户在研发上的帮助。
产品介绍：
掠入射反射镜可用于高能X射线和宽带XUV光源的转向和聚焦。定制化椭球反射镜和超环面反射镜可用于阿秒光谱成像以及其他XUV应用。掠入射多层膜反射镜可用于X射线单色仪。
典型参数：
◆ 材料：Fused Silica, Low Expansion Glass
椭球面, 超环面, 柱面, 平面
◆ 粗糙度：<0.5nm rms
Flat: 1000 mm ；Curved: 300 mm
镀膜示例（AOI=85 deg.）：
