产品简介
KLA Candela 900 / 920表面缺陷及EPI外延缺陷检测设备
详细介绍
主要产品与服务
◆综合解决方案：EFEM、Vacuum Cluster Integration System (300/450mm)、Codex、Sorter、Storker、450mm Wafer Handling System；
◆工具自动化：大气机器人、真空机器人、装载埠模块（FOUP和OCA）、对准和标定、末端执行器；
◆软件解决方案：Genmark集成框架和技术（GIFT™）是用于快速开发设备自动化应用的一套软件组件，工具和技术。支持Windows NT，2000，XP；SEMI标准： E4, E5, E30, E37, E40, E42, E58, E84, E87, E90, E94, E95, E98, E99, E109, E116, E118
◆工程服务：协助OEM客户，定制材料输送解决方案的设计与实施。
◆运动控制：控制多功能机器人结构，包括“偏转”，“节距”和“滚动”的运动功能；多个轴的同步；末端执行器框架的倾斜功能；紧急停止，等其他功能。
◆售后服务：Stock Parts、Repair、Refurbishment、Exchange、Site troubleshooting、Local service engineer,etc.
