支持三重四极杆技术的 Thermo Scientific™ iCAP™ TQs ICP-MS 是一种高性能 ICP-MS，适用于在与半导体行业相关的多种挑战性基质中进行痕量元素超痕量定量检测。在不牺牲其作为灵敏、易用的工作台仪器所具备的检测能力的前提下，具有三重四极杆技术出色的干扰去除能力。

体验超痕量分析的优势，并扩展实验室应用组合，确保您的操作员能够通过使用 Thermo Scientific Qtegra™ Intelligent Scientific Data Solution™ (ISDS) 软件快速接受三重四极杆 ICP-MS。

Thermo Scientific iCAP TQs ICP-MS 具有更强的干扰去除能力，可更好地对各种挑战性的基质中的元素杂质进行检测。由于 iCAP TQs ICP-MS 占地面积小，加上具有简化的工作流程并支持自动化方法开发而特别易于使用，使其成为用于确保关键生产工艺一致性和提高半导体硅片加工产量而进行在线质量控制的理想检查工具。

使用 iCAP TQs ICP-MS，超越三重四极杆 ICP-MS 性能及易用性的界限：

• 强大的三重四极杆技术，可提高干扰去除能力和分析的正确性。
• 进行超低甚至挑战性基质检测。
• 使用的反应查询方法开发助手轻松进行快速设置。
• 通过集成式反应气体处理功能，进行可靠的仪器操作。
• 干燥前级真空泵确保室内环境清洁。