品牌
其他厂商性质
所在地
SRS-400型磁控溅射PVD系统,配备三组磁控溅射靶群及控制系统,适用于沉积各种单/多层膜系.可实现单靶直溅和多靶共射功能。制备氮化物和氧化物反应膜溅射功能,可沉积金属、合金、化合物、半导体、介质复合膜和其它化学反应膜层,非常适合科研实验或新材料研发使用,适用于快速多层金属或合成膜沉积工艺。
主要特点:
应用领域:
主要配置:
系统结构图如下:
技术指标 | 可选配置和增加配件 |
三组磁控溅射靶全自动沉积 | 1200L/s涡轮分子泵系统或低温泵系统 |
自动记录并生成沉积薄膜参数图,USB端口数据传输到PC | DC PLUS电源,用于化合物共射镀膜 |
自动基板公转控制 | 石英晶体膜厚控制 |
系统压力自动控制溅射压力 | 备用腔室内胆 |
2路MFC布气系统 | 电阻热主蒸发系统 |
极限真空7.0E-7torr(700L/s) | 射频离子辅助沉积 |
1*RF和2*DC电源可三靶共溅 | 射频等离子基板清洗 |
电源规格:380V – 50/60 HZ-35A | 样品基板公自转旋转 |
尺寸:高125cm×宽75cm×深65cm | 多路反应气体MFC |
质量:〜155KG | 腔体密封套件 |
更多PVD系统工艺说明可查阅本站点解决方案目录:/jjfa