硅片洁净烘箱，半导体百级洁净烤箱概述

硅片洁净烘箱，半导体百级洁净烤箱用于半导体制造中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃等材料涂胶前的预处理烘烤、涂胶后坚膜烘烤和显影后的高温烘烤；也适用于电子液晶显示、LCD、CMOS、IS、医药、实验室等生产及科研部门；也可用于非挥发性及非易燃易爆物品的干燥、热处理、老化等其他高温试验。

参数

主要技术指标

Ø  无尘等级：Class 100;     

Ø  温度均匀度：±2℃;    

Ø  温度波动度：±0.5℃（空载）；        

Ø  温控精度：±0.1℃;

Ø  进风口：φ6mmN2进气、流量计控制;

排风口： φ3”排风管（外接φ5＂法兰）;

箱体结构

a)   烘箱由箱体部分、电器控制柜、电加热、过滤器及风道系统组装而成

结构合理，外观美观大方；

b)   箱体材料：外箱采用优质冷轧板喷塑，可防止微尘；

c)   内胆材料：采用优质SUS304镜面不锈钢板，并经碱 性苏打水清洁

去油污避免烘烤PARTICLE；

完善的安全保护措施

漏电断路器、控制线路保险丝装置、 超温防止保护装置（上限220℃）、 电热过电流保护装置、马达过电流保护、 反向保护装置、内衬防火材料、机台异常蜂鸣器、门面安全开关。