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电子级PI(聚酰亚胺)薄膜在半导体及微电子工业领域的应用主要表现在以下几方面:
1、粒子遮挡膜:高纯度的聚酰亚胺涂层膜
2、微电子器件的钝化层和缓冲内涂层:
聚酰亚胺作为钝化层和缓冲保护层在微电子工业上应用非常广泛。PI 涂层可有效地阻滞电子迁移、防止腐蚀。PI 层保护的元器件具有很低的漏电流
3、多层金属互联电路的层间介电材料:聚酰亚胺(隽思PI无氧烘箱)材料(主要以PI膜为产品形式)可作为多层布线技术中多层金属互联结构的层间介电材料。多层布线技术
4、光电印制电路板的重要基材:聚酰亚胺的折射率大小可以通过调整共聚物的含氟量,含氟量愈高,含氟聚酰亚胺薄膜折射率愈小,从而调节折射率的大小,所以波导芯层和包层都可以采用聚酰亚胺。
洁净无氧烘箱,氮气无氧 烘箱性能
温度范围:RT+20~450℃;
温度均匀性:≤±1.5%℃;
升温速度:0-8℃/min;
氧浓度:≤20ppm
工作尺寸:2-12寸晶圆及方片兼容,可尺寸定制
电源:AC380V/50HZ,
操作方式:人机界面+PLC,自动控制,程式运行
进气口:φ10mmN2进气、流量计控制/可调
升温方式:阶梯升温
降温功能:水冷+风冷
洁净无氧烘箱,氮气无氧 烘箱用途
无氧烘箱用于触摸屏、晶圆、LED、PCB板、ITO玻璃等精密电子、太阳能、新材料等行业.半导体晶片、半导体封装和MEMS器件的批量生产。主要用于PI/CPI固化,BCB固化,PBO固化,LCP纤维热处理。