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反转真空烘箱 图像反转氨气炉用途
图像反转(image inversion)是一种使用正胶和暗场掩模版做出岛区的工艺。
在曝光小尺寸图形时,倾向于使用正胶。正胶适于使用暗场掩模版做孔洞。暗场掩模版大部分被铬覆盖,因为铬不会像玻璃一样易损,所以缺陷比抛光较少。然而,一些掩模版用来曝光岛区。而不是孔洞,比如金属层掩模版上是岛区图形。
在曝光结束后,光刻胶里的图像与想要得到的图像是相反的,也就是说,如果抛光接着显影的话,会得到孔洞而不是岛区。
反转真空烘箱 图像反转氨气炉性能
尺寸(可定制) | 300×300×300(mm) 450×450×450(mm),可定制 |
材质 | 内箱采用SUS304不锈钢,外箱采用优质冷轧板静电喷塑 |
温度范围 | RT+50-200℃ |
温度分辨率 | 0.1℃ |
温度波动度 | ≤±1℃ |
操作模式 | 人机界面 |
升温速率 | ≤5℃/min |
气体 | 2路供气 |
真空度 | 0.1~100KPa |
图像反转系统 Lmage inversion Oven
已经在很多领域得到了广泛应用。比如,在汽车制造业中,可以用于钣金加热、淬火、退火、焊接等工艺;在电子制造业中,可以用于半导体器件制造中的退火和腐蚀等工艺;在航空航天制造业中,可以用于航空发动机和航天器材料的热处理等。