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热板,高精度加热平台概述简介:
加热板采用铝板作为工作表面,其内置不锈钢加热棒,导热性能好,升温快,采用PID调节仪控温,可以精确控制平台的加热温度.适用于半导体光刻工艺的前烘和坚膜、电路模块的涂敷烧结和考核等工艺。
热板,高精度加热平台主要技术参数:
整机尺寸:330mm×830mmX300mm
加热板及尺寸:铝板,300mm×800mmX50mm
加热方式:内热式不锈钢加热棒
温度范围:室温~250℃
控温精度:±1℃
温度均匀性:±2℃
功率:6000W
电源电压:三相380V 50HZ
计时范围:1s~99.99h