外延片烘箱,氮气洁净烘箱 工业烘箱
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JS外延片烘箱,氮气洁净烘箱 工业烘箱

参考价: 订货量:
3800 1

具体成交价以合同协议为准
2023-10-13 12:02:59
704
属性:
材质:不锈钢;工作室尺寸:300-2000mm;功率:4000;加工定制:是;类型:鼓风;适用范围:氮化镓PI/BCB/CPI/LCP/BPO半导体;温度范围:300℃;重量:90kg;
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产品属性
材质
不锈钢
工作室尺寸
300-2000mm
功率
4000
加工定制
类型
鼓风
适用范围
氮化镓PI/BCB/CPI/LCP/BPO半导体
温度范围
300℃
重量
90kg
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上海隽思实验仪器有限公司

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产品简介

外延片烘箱,氮气洁净烘箱延片将所述外延片放入烘箱中,在120℃~140℃的温度下,将所述外延片烘烤10~30分钟

详细介绍

外延片烘箱,氮气洁净烘箱作用

   氮化镓外延片工艺是一种用于制备氮化镓外延片的工艺,主要包括表面清洗、氮化处理、清洗处理、干燥处理和检测处理等步骤。干燥处理是将清洗后的外延片放入烘箱中,进行干燥处理,以去除清洗液中的水分。将所述外延片放入烘箱中,在120℃~140℃的温度下,将所述外延片烘烤10~30分钟。

氮气是惰性气体,不易与其他物质发生反应。在日常生产生活中,氮气常作为气源,且不与需要气源的电器和气动元器件产生氧化和腐蚀,既可杜绝细菌和噬菌体在元器件中滋生和污染,也可延长电器元器件和气动元器件使用寿命。氮气广泛存在与大气中,干燥洁净且不含水,不含油,因此常作为干燥气体使用。

  目前常用的外延片生产用氮气干燥箱通常将送入的气体通过过滤网过滤分散后送入干燥箱箱体内部,进而对需要干燥的物体进行干燥。

外延片烘箱,氮气洁净烘箱性能要求:


温度范围:RT~200/300℃;
温度均匀度:±1.5%℃;    

温度波动度:±0.5℃(空载)        
温控精度:±0.1℃;        

工作尺寸(mm):

450×450×450

500×500×500

600×700×800(可定制)          

网板:2-4个 

可扩展功能:

氧浓度检测,无尘无氧烘箱

智能联网功能,MES等工业自动化软件

扫码枪,扫码溯源,一键读取

自动门控,上位机程控,机械手搬运产品



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