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HMDS涂胶烤箱，MES接口hmds涂布机 工业烘箱
- 型号
- 参数
- 类型:真空
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上海隽思实验仪器有限公司（以下简称“隽思仪器”）是一家专业从事仪器设备研发、生产、销售及服务的企业。主要生产半导体工艺设备、环境模拟仪器设备、线缆试验机、橡塑试验检测设备、黑蒜设备等的高新技术型企业，具有很强的自主开发、设计能力,服务于电子、电力、通讯、环保、农业，建筑，节能等行业；多年来，公司以“真挚的服务、优质的品质”为宗旨，为国内外广大用户提供了周到的售前、售中、售后服务。赢得了国内外客户的*好评，更为我们业务的快速发展奠定了一定的基础。我们的服务也更精益求精，更完善！
隽思仪器主要业务有HMDS预处理系统，HMDS烘箱，洁净烤箱，百级洁净烘箱，氮气烘箱，高温无氧烘箱，真空无氧烘箱，无尘无氧化烘箱，抗粘剂涂胶机，精密恒温加热台，快速高低温气流仪，超低温试验箱，高低温试验箱，高低温交变湿热箱定做，HMDS真空涂胶烘箱，低温脆性检测仪，黑蒜发酵设备，导体直流电阻测试仪，电线电缆检测仪器，真空烘箱，黑蒜试验机，橡塑检测试验机等。
不断追求技术进步、提升专业服务能力，做一个专业的仪器设备供应商是我们的发展目标。企业内部实施了CRM、ERP项目管理，在产品开发、质量控制、集成供应链、人力资源管理、财务管理等诸多方面取得了长足发展。同时建立了标准化的服务流程，形成了覆盖全国的快速服务网络，以尽心尽责的服务理念和完备的技术得到用户的*称赞。我们将珍视每一次与您合做的机会，以饱满的热情、真诚的服务与您共创灿烂的未来！
详细信息
HMDS涂胶烤箱，MES接口hmds涂布机简介：
HMDS涂胶烤箱的主要作用是对晶圆做表面处理，以增加光阻在晶圆表面的附着力。当晶圆送到黄光区时，表面可能有含水层，高温烘烤后去除水气，同时经过HMDS制程改变晶圆表面从极性到非极性，将晶圆表面的表面能被调整到与光阻表面相当的程度，从而使光阻可以很好的附着在晶圆表面。
首先加热到100℃-200℃，去除硅片表面的水分，然后HMDS与表面的OH一反应，在硅片表而生成硅醚，消除氢键作，从而使极性表面变成非极性表面。整个反应持续到空间位阻(*基硅烷基较大)阻止其进一步反应。
HMDS涂胶烤箱，MES接口hmds涂布机特点：
1.HMDS是气相涂布在硅片表面，也就是硅片在高温环境HMDS的蒸汽中放置；
2.在显影过程中无需去除硅片表面的HMDS层；
3.在HMDS上面滴光刻胶甩涂时，光刻胶内的溶剂不会破坏HMDS层；
4.多余的HMDS蒸汽（尾气）将由真空泵抽出，排放到废气收集管道；
5.所有制程都在密闭的腔体内完成，操做是不会接触到HMDS蒸汽；
6.可保存多个产品制程，制程工艺一键完成，无需值守人员。
HMDS涂胶烤箱技术指标：
1.设备型号： JS-HMDS90
2.工作室尺寸（mm）： 450×450×450，650*650*650,800*800*800,1200*1000*1200 可自定
3 外形尺寸： 根据内腔尺寸变化
4. 材质：外箱采用优质冷轧板喷塑或不锈钢，内箱采用316L医用级不锈钢
5. 温度范围 ：RT+10-250℃
6. 温度分辨率 ：0.1℃
7. 温度波动度： ≤±0.5
8. 真空度： ≤133pa（1torr）
9. 洁净度 ：class 100，设备采用无尘材料，适用100级光刻间净化环境
10.电源及总功率 ： AC 220V±10% / 50HZ 总功率约3.0KW
11. 重量： 约180KG
12. 控制仪表 ：人机界面
13.搁板层数 ：2层
14. HMDS控制 ：可控制HMDS药夜添加量
15.真空泵：旋片式油泵或干泵
16. 保护装置 HMDS药液泄漏报警装置，HMDS自动添加，超温保护，漏电保护，过热保护等
