碳化硅HMDS烘箱,SiC衬底HMDS烤箱 工业烘箱

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碳化硅HMDS烘箱,SiC衬底HMDS烤箱 工业烘箱

型号
参数
材质:不锈钢 工作室尺寸:45mm 功率:2500 加工定制:是 类型:真空 温度范围:200℃
上海隽思实验仪器有限公司

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上海隽思实验仪器有限公司(以下简称“隽思仪器”)是一家专业从事仪器设备研发、生产、销售及服务的企业。主要生产半导体工艺设备、环境模拟仪器设备、线缆试验机、橡塑试验检测设备、黑蒜设备等的高新技术型企业,具有很强的自主开发、设计能力,服务于电子、电力、通讯、环保、农业,建筑,节能等行业;多年来,公司以“真挚的服务、优质的品质”为宗旨,为国内外广大用户提供了周到的售前、售中、售后服务。赢得了国内外客户的*好评,更为我们业务的快速发展奠定了一定的基础。我们的服务也更精益求精,更完善!
 隽思仪器主要业务有HMDS预处理系统,HMDS烘箱,洁净烤箱,百级洁净烘箱,氮气烘箱,高温无氧烘箱,真空无氧烘箱,无尘无氧化烘箱,抗粘剂涂胶机,精密恒温加热台,快速高低温气流仪,超低温试验箱高低温试验箱,高低温交变湿热箱定做,HMDS真空涂胶烘箱,低温脆性检测仪,黑蒜发酵设备,导体直流电阻测试仪,电线电缆检测仪器,真空烘箱,黑蒜试验机,橡塑检测试验机等。
    不断追求技术进步、提升专业服务能力,做一个专业的仪器设备供应商是我们的发展目标。企业内部实施了CRM、ERP项目管理,在产品开发、质量控制、集成供应链、人力资源管理、财务管理等诸多方面取得了长足发展。同时建立了标准化的服务流程,形成了覆盖全国的快速服务网络,以尽心尽责的服务理念和完备的技术得到用户的*称赞。我们将珍视每一次与您合做的机会,以饱满的热情、真诚的服务与您共创灿烂的未来!





详细信息

碳化硅HMDS烘箱的背景

   碳化硅作为第三代半导体材料的典型代表,也是目前晶体生产技术和器件制造水平成熟,应用广泛的宽禁带半导体材料之一,目前已经形成了全球的材料、器件和应用产业链。

   碳化硅(SiC)是由硅(Si)和碳(C)组成的化合物半导体材料。其结合力非常强,在热、化学、机械方面都非常稳定。SiC存在各种多型体(多晶型体),它们的物理特性值各有不同。

碳化硅HMDS烘箱,SiC衬底HMDS烤箱的作用

  HMDS烘箱将HMDS气相沉积至半导体制造中氮化镓(GaN)和、碳化硅(SiC)、硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃、蓝宝石、晶圆等材料表面后,经系统加温可反应生成以硅氧烷为主体的化合物。它成功地将硅片表面由亲水变为疏水,其疏水基可很好地与光刻胶结合,起着偶联剂的作用。

碳化硅HMDS烘箱,SiC衬底HMDS烤箱主要性能:

空间(mm):300*300*300

       450*450*450

       600*600*600,可定制

适用产品:兼容1-12寸晶圆及碎片

温度范围:RT+10-250℃

温度稳定度:≤±0.5℃

真空度:≤133pa(1torr)

材质:316L不锈钢+冷轧板喷塑

HMDS系统:密闭设计,自动开启,数据可设定

液位计:低液位报警

储液瓶:HMDS储液量1000ml 

真空泵:无油涡旋真空泵

运行时间:20Min

计量单位:S/Pa

运行方式:自动运行

进气:N2

排气:有机排放

电源:220V、50-60HZ

功率:2800W



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产品参数

材质 不锈钢
工作室尺寸 45mm
功率 2500
加工定制
类型 真空
温度范围 200℃
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