OAP烘箱,OAP处理烘箱 工业烘箱

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OAP烘箱,OAP处理烘箱 工业烘箱

型号
参数
材质:316 工作室尺寸:450mm 功率:2.8 加工定制:是 类型:真空 适用范围:HMDS涂覆 温度范围:250℃
上海隽思实验仪器有限公司

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上海隽思实验仪器有限公司(以下简称“隽思仪器”)是一家专业从事仪器设备研发、生产、销售及服务的企业。主要生产半导体工艺设备、环境模拟仪器设备、线缆试验机、橡塑试验检测设备、黑蒜设备等的高新技术型企业,具有很强的自主开发、设计能力,服务于电子、电力、通讯、环保、农业,建筑,节能等行业;多年来,公司以“真挚的服务、优质的品质”为宗旨,为国内外广大用户提供了周到的售前、售中、售后服务。赢得了国内外客户的*好评,更为我们业务的快速发展奠定了一定的基础。我们的服务也更精益求精,更完善!
 隽思仪器主要业务有HMDS预处理系统,HMDS烘箱,洁净烤箱,百级洁净烘箱,氮气烘箱,高温无氧烘箱,真空无氧烘箱,无尘无氧化烘箱,抗粘剂涂胶机,精密恒温加热台,快速高低温气流仪,超低温试验箱高低温试验箱,高低温交变湿热箱定做,HMDS真空涂胶烘箱,低温脆性检测仪,黑蒜发酵设备,导体直流电阻测试仪,电线电缆检测仪器,真空烘箱,黑蒜试验机,橡塑检测试验机等。
    不断追求技术进步、提升专业服务能力,做一个专业的仪器设备供应商是我们的发展目标。企业内部实施了CRM、ERP项目管理,在产品开发、质量控制、集成供应链、人力资源管理、财务管理等诸多方面取得了长足发展。同时建立了标准化的服务流程,形成了覆盖全国的快速服务网络,以尽心尽责的服务理念和完备的技术得到用户的*称赞。我们将珍视每一次与您合做的机会,以饱满的热情、真诚的服务与您共创灿烂的未来!





详细信息

OAP烘箱,OAP处理烘箱的工艺

   光刻的作用是把掩模版上的各形转换成晶圆十的器件结构,它对集成电路图形结构的形成,如各层薄膜的各形及掺杂区域等,均起着决定性的作用。光刻的基本流程中第一步,前处理就是需要将基片亲水性改为疏水性,即OAP(HMDS预处理)工艺。

OAP烘箱,OAP处理烘箱简介

   OAP处理烘箱,也称为HMDS烘箱、HMDS预处理系统。用HMDS溶液:六甲基二硅胺烷)成底膜进行表面处理,它起到提高粘附力的作用,在硅片成底膜操作后尽快涂胶。OAP烘箱是采用气相成底膜的方式来完成HMDS的涂覆工艺,优点是,整个工艺在密闭的环境中,外界没有与硅片接触减少了来自液体HMDS颗粒沾污的可能,HMDS的消耗量也小。

OAP烘箱指标

HMDS药液泄漏报警提示功能

HMDS低液位报警提示功能

工艺数据记录功能

HMDS管道预热功能

程序锁定保护等功能

尺寸(深*宽*高)

内腔尺寸:450×450×450(mm)(可定制)

材质:外箱采用优质冷轧板喷塑,内箱采用 316L 医用级不锈钢

温度范围:RT+50-200℃

温度波动度:≤±0.5

真空度:≤1torr

HMDS控制:可控制HMDS 药液添加量

真空泵:无油涡旋真空泵



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产品参数

材质 316
工作室尺寸 450mm
功率 2.8
加工定制
类型 真空
适用范围 HMDS涂覆
温度范围 250℃
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