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JS 光伏电池片HMDS处理系统，HMDS预处理烘箱
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上海隽思实验仪器有限公司（以下简称“隽思仪器”）是一家专业从事仪器设备研发、生产、销售及服务的企业。主要生产半导体工艺设备、环境模拟仪器设备、线缆试验机、橡塑试验检测设备、黑蒜设备等的高新技术型企业，具有很强的自主开发、设计能力,服务于电子、电力、通讯、环保、农业，建筑，节能等行业；多年来，公司以“真挚的服务、优质的品质”为宗旨，为国内外广大用户提供了周到的售前、售中、售后服务。赢得了国内外客户的*好评，更为我们业务的快速发展奠定了一定的基础。我们的服务也更精益求精，更完善！
隽思仪器主要业务有HMDS预处理系统，HMDS烘箱，洁净烤箱，百级洁净烘箱，氮气烘箱，高温无氧烘箱，真空无氧烘箱，无尘无氧化烘箱，抗粘剂涂胶机，精密恒温加热台，快速高低温气流仪，超低温试验箱，高低温试验箱，高低温交变湿热箱定做，HMDS真空涂胶烘箱，低温脆性检测仪，黑蒜发酵设备，导体直流电阻测试仪，电线电缆检测仪器，真空烘箱，黑蒜试验机，橡塑检测试验机等。
不断追求技术进步、提升专业服务能力，做一个专业的仪器设备供应商是我们的发展目标。企业内部实施了CRM、ERP项目管理，在产品开发、质量控制、集成供应链、人力资源管理、财务管理等诸多方面取得了长足发展。同时建立了标准化的服务流程，形成了覆盖全国的快速服务网络，以尽心尽责的服务理念和完备的技术得到用户的*称赞。我们将珍视每一次与您合做的机会，以饱满的热情、真诚的服务与您共创灿烂的未来！
详细信息
光伏电池片HMDS处理系统，HMDS预处理烘箱的作用：
电池片制备是光伏电池片生产中的核心环节，主要包括光刻、扩散、沉积和金属化等工艺步骤
1.光刻:光刻工艺主要利用光刻胶和掩膜将所需的电极图案投影到硅片表面，并通过曝光和显影等过程形成图案。
2.扩散:扩散工艺通过高温将掺杂物(如磷或硼)注入硅片中，形成PN结构，从而使其具有正负电荷分离的能力。
3.沉积:沉积工艺主要是在硅片表面进行氧化、硝化或硫化等处理，形成适当的电池片表面结构和保护层
4.金属化:金属化工艺将电极材料(如铝或银)通过蒸镀、溅射或印刷等方法沉积在电池片表面作为电流收集和传输的导体。
光刻中第一步需要表面预处理，就是涂胶前要进行增粘处理。由于衬底表面吸水特性，使疏水的光刻胶无法与亲水的晶圆表面结合良好。未经过HMDS表面处理的晶圆在后道工艺中容易造成漂条、浮胶等，导致光刻图形转移的失败，同时湿法腐蚀容易发生侧向腐蚀。
光伏电池片HMDS处理系统，HMDS预处理烘箱技术参数
主要方法：气相沉积
工艺步骤：HMDS烘箱在高温条件下，达到真空状态后开始涂布工艺，涂布完成后烘箱内部充入N2，排出尾气，达到常压后方可开门。
温度范围：RT+10-200℃
真空度：≤1torr
控制仪表：人机界面，自动运行
储液瓶：标配
真空泵：无油涡旋真空泵
数据处理：多个工艺方案，可修改并记录，使用数据可记录
保护装置： 低液位报警，HMDS药液泄漏报&警，超温保护并断开加热，漏电保护，过流保护等
