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JS- HDMS烘箱 HDMS真空烘箱 HDMS预处理烘箱
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生产厂家上海隽思实验仪器有限公司(以下简称“隽思仪器”)是一家专业从事仪器设备研发、生产、销售及服务的企业。主要生产半导体工艺设备、环境模拟仪器设备、线缆试验机、橡塑试验检测设备、黑蒜设备等的高新技术型企业,具有很强的自主开发、设计能力,服务于电子、电力、通讯、环保、农业,建筑,节能等行业;多年来,公司以“真挚的服务、优质的品质”为宗旨,为国内外广大用户提供了周到的售前、售中、售后服务。赢得了国内外客户的*好评,更为我们业务的快速发展奠定了一定的基础。我们的服务也更精益求精,更完善!
隽思仪器主要业务有HMDS预处理系统,HMDS烘箱,洁净烤箱,百级洁净烘箱,氮气烘箱,高温无氧烘箱,真空无氧烘箱,无尘无氧化烘箱,抗粘剂涂胶机,精密恒温加热台,快速高低温气流仪,超低温试验箱,高低温试验箱,高低温交变湿热箱定做,HMDS真空涂胶烘箱,低温脆性检测仪,黑蒜发酵设备,导体直流电阻测试仪,电线电缆检测仪器,真空烘箱,黑蒜试验机,橡塑检测试验机等。
不断追求技术进步、提升专业服务能力,做一个专业的仪器设备供应商是我们的发展目标。企业内部实施了CRM、ERP项目管理,在产品开发、质量控制、集成供应链、人力资源管理、财务管理等诸多方面取得了长足发展。同时建立了标准化的服务流程,形成了覆盖全国的快速服务网络,以尽心尽责的服务理念和完备的技术得到用户的*称赞。我们将珍视每一次与您合做的机会,以饱满的热情、真诚的服务与您共创灿烂的未来!
HDMS烘箱 HDMS真空烘箱 HDMS预处理烘箱技术参数
容量:2-12寸晶圆、方片、碎片等
材质:内箱采用316L医用级不锈钢
工艺温度:80-150℃
温度分辨率:0.1℃
温度波动度:≤±0.5
真空度:≤1torr
操作界面:人机界面,一键作业
腔内分层:1-4层
工艺单元:5个工艺单元可保存
图像处理:图像反转
真空泵: 进口无油泵
保护装置:紧急停止,HMDS药液泄漏报&警提示,HMDS低液位报&警,超温保护,漏电保护,过热保护等
HDMS烘箱 HDMS真空烘箱 HDMS预处理烘箱应用
1、单晶硅片
目前较多的衬底材料,广泛用于制造集成电路(IC)、微处理器、存储器、MEMS器件、功率器件等
2、SOI衬底
用于高性能、低功耗的集成电路,如高频模拟和数字电路、RF器件和电源管理芯片。
3、SiGe衬底
SiGe ,锗硅,是一种硅和锗任意摩尔比的合金,分子式为 Si 1− x Ge x,常用外延的方式制作。用于异质结双极晶体管,混合信号电路,射频等领域
4、化合物半导体衬底
砷化镓衬底(GaAs ):微波和毫米波通信器件等
氮化镓衬底(GaN ):用于射频功率放大器,HEMT等
碳化硅衬底(SiC ):用于电动汽车、电源转换器等电力器件
磷化铟衬底(InP ):用于激光器、光探测器等
5、蓝宝石衬底:用于LED制造、RFIC(射频集成电路)等
6、锗衬底:用于红外光电器件等
7、LN(铌酸锂):用于声表滤波器,mems等
8、LT(钽酸锂):用于声表滤波器,mems等
9、玻璃基板:用于LCD、OLED、光学滤波器等
等等