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JS- HDMS烘箱 HDMS真空烘箱 HDMS预处理烘箱
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上海隽思实验仪器有限公司（以下简称“隽思仪器”）是一家专业从事仪器设备研发、生产、销售及服务的企业。主要生产半导体工艺设备、环境模拟仪器设备、线缆试验机、橡塑试验检测设备、黑蒜设备等的高新技术型企业，具有很强的自主开发、设计能力,服务于电子、电力、通讯、环保、农业，建筑，节能等行业；多年来，公司以“真挚的服务、优质的品质”为宗旨，为国内外广大用户提供了周到的售前、售中、售后服务。赢得了国内外客户的*好评，更为我们业务的快速发展奠定了一定的基础。我们的服务也更精益求精，更完善！
隽思仪器主要业务有HMDS预处理系统，HMDS烘箱，洁净烤箱，百级洁净烘箱，氮气烘箱，高温无氧烘箱，真空无氧烘箱，无尘无氧化烘箱，抗粘剂涂胶机，精密恒温加热台，快速高低温气流仪，超低温试验箱，高低温试验箱，高低温交变湿热箱定做，HMDS真空涂胶烘箱，低温脆性检测仪，黑蒜发酵设备，导体直流电阻测试仪，电线电缆检测仪器，真空烘箱，黑蒜试验机，橡塑检测试验机等。
不断追求技术进步、提升专业服务能力，做一个专业的仪器设备供应商是我们的发展目标。企业内部实施了CRM、ERP项目管理，在产品开发、质量控制、集成供应链、人力资源管理、财务管理等诸多方面取得了长足发展。同时建立了标准化的服务流程，形成了覆盖全国的快速服务网络，以尽心尽责的服务理念和完备的技术得到用户的*称赞。我们将珍视每一次与您合做的机会，以饱满的热情、真诚的服务与您共创灿烂的未来！
详细信息
HDMS烘箱 HDMS真空烘箱 HDMS预处理烘箱技术参数
容量：2-12寸晶圆、方片、碎片等
材质：内箱采用316L医用级不锈钢
工艺温度：80-150℃
温度分辨率：0.1℃
温度波动度：≤±0.5
真空度：≤1torr
操作界面：人机界面，一键作业
腔内分层:1-4层
工艺单元:5个工艺单元可保存
图像处理：图像反转
真空泵: 进口无油泵
保护装置：紧急停止，HMDS药液泄漏报&警提示，HMDS低液位报&警，超温保护，漏电保护，过热保护等
HDMS烘箱 HDMS真空烘箱 HDMS预处理烘箱应用
1、单晶硅片
目前较多的衬底材料，广泛用于制造集成电路（IC）、微处理器、存储器、MEMS器件、功率器件等
2、SOI衬底
用于高性能、低功耗的集成电路，如高频模拟和数字电路、RF器件和电源管理芯片。
3、SiGe衬底
SiGe ，锗硅，是一种硅和锗任意摩尔比的合金，分子式为 Si 1− x Ge x，常用外延的方式制作。用于异质结双极晶体管，混合信号电路，射频等领域
4、化合物半导体衬底
砷化镓衬底（GaAs ）：微波和毫米波通信器件等
氮化镓衬底（GaN ）：用于射频功率放大器，HEMT等
碳化硅衬底（SiC ）：用于电动汽车、电源转换器等电力器件
磷化铟衬底（InP ）：用于激光器、光探测器等
5、蓝宝石衬底：用于LED制造、RFIC（射频集成电路）等
6、锗衬底:用于红外光电器件等
7、LN（铌酸锂）：用于声表滤波器，mems等
8、LT（钽酸锂）：用于声表滤波器,mems等
9、玻璃基板：用于LCD、OLED、光学滤波器等
等等
