HMDS增粘剂烘箱，HMDS涂胶机 工业烘箱
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上海隽思实验仪器有限公司（以下简称“隽思仪器”）是一家专业从事仪器设备研发、生产、销售及服务的企业。主要生产半导体工艺设备、环境模拟仪器设备、线缆试验机、橡塑试验检测设备、黑蒜设备等的高新技术型企业，具有很强的自主开发、设计能力,服务于电子、电力、通讯、环保、农业，建筑，节能等行业；多年来，公司以“真挚的服务、优质的品质”为宗旨，为国内外广大用户提供了周到的售前、售中、售后服务。赢得了国内外客户的*好评，更为我们业务的快速发展奠定了一定的基础。我们的服务也更精益求精，更完善！
隽思仪器主要业务有HMDS预处理系统，HMDS烘箱，洁净烤箱，百级洁净烘箱，氮气烘箱，高温无氧烘箱，真空无氧烘箱，无尘无氧化烘箱，抗粘剂涂胶机，精密恒温加热台，快速高低温气流仪，超低温试验箱，高低温试验箱，高低温交变湿热箱定做，HMDS真空涂胶烘箱，低温脆性检测仪，黑蒜发酵设备，导体直流电阻测试仪，电线电缆检测仪器，真空烘箱，黑蒜试验机，橡塑检测试验机等。
不断追求技术进步、提升专业服务能力，做一个专业的仪器设备供应商是我们的发展目标。企业内部实施了CRM、ERP项目管理，在产品开发、质量控制、集成供应链、人力资源管理、财务管理等诸多方面取得了长足发展。同时建立了标准化的服务流程，形成了覆盖全国的快速服务网络，以尽心尽责的服务理念和完备的技术得到用户的*称赞。我们将珍视每一次与您合做的机会，以饱满的热情、真诚的服务与您共创灿烂的未来！
详细信息
HMDS增粘剂烘箱，HMDS涂胶机
HMDS增粘剂烘箱即HMDS(六甲基二硅烷)增粘剂气相涂布，涂胶工艺的配置机台。该设备结合了有效的真空烘烤和蒸汽气相涂布应用方法。在使用同一腔室过程的过程，为脱水和蒸汽灌注创造了一个加热的真空环境，大大降低了晶片再水化或污染的风险。同时，提高了安全性，具有更好的安全保障。
HMDS增粘剂烘箱，HMDS涂胶机工艺步骤
工作腔室泵+N2清洗循环：涂胶过程从泵开始，并在初始烘烤数分钟后清洗 预热完成的真空腔室的循环，以到达使基板脱水的目的。 将腔室抽真空至低压并重新充入纯氮气数次以去除水蒸气。 同时可编程预热脱水步骤提供了足够的加热时间来将晶片预热到 工艺温度；
循环吹扫完成后，将降低工作室压力，打开装有 HMDS 化学品的烧瓶的蒸汽阀， 当蒸气阀打开时，腔室将化学蒸气吸入，HMDS 蒸气然后与晶片反应。数分钟的汽化时间对晶圆进行底漆处理，汽化时间是可调的，可以根据需要增加，以确保对各种类型的表面进行底漆处理，关闭蒸汽阀并保持烘烤状态；
工作腔室泵+N2排气循环，烘烤时间结束后，N2注入腔体内，真空泵抽出气体，数次循环后以到达使腔内残余HMDS蒸汽排出的目的。
HMDS增粘剂烘箱技术性能
温度范围：RT+10-200℃
真空度：≤1torr
操作方式：人机界面，一键运行
储液瓶：HMDS储液量1000ml
真空泵：无油涡旋真空泵
工艺编辑：可储存5个程序
气体：N2进气阀，自动控制
容积：40L/90L/210L,可定制
产品兼容性：2~12寸晶圆及碎片、方片等
适用行业：MEMS、滤波、放大、功率等器件，晶圆、玻璃、贵金属，SiC(碳化硅)、GaN(氮化镓)、ZnO（氧化锌）、GaO（氧化镓）、金刚石等第三代半导体材料。
