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PSE-150C ulvac-kiko蒸发电源 控制器 温度调节 离子溅射仪
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ulvac-kiko蒸发电源 控制器 温度调节PSE-150C
ulvac-kiko蒸发电源 控制器 温度调节PSE-150C
将架台上的油扩散泵,油回转泵,皮拉尼真空计,阀门配管,电气系统,压力测量口等必要的部件紧凑组合为一体的,配有钟罩升降设备的电阻加热型高速真空蒸发设备。
适用于大型基板的基础研究开发等实验用途。
玻璃钟罩更容易看到内部,有良好的操作性。
可以在不停止主泵的情况下打开真空槽。
通过追加蒸发电源和电极,可同时蒸发或多层蒸发。
更改为EB规格,可成膜高熔点的材料。
蒸发设备带有脚轮,移动更为容易。
带有调节器,可确保设置的安全性。
型式 | VPC-1100 | |
真空性能 | 极限压力 | 4.0×10-4Pa 1.3×10-4Pa(液体氮气使用时) |
排气时间 | 4.0×10-3Pa/10min 10-4Pa台/10min(液体氮气使用时) | |
真空槽 | 真空槽 | 玻璃钟罩(内径Φ390mm×高350mm) |
馈通圈 | 20端口(側面14/底面6) | |
基板推荐尺寸・最大尺寸 | □50mm ・ □220mm(Max) | |
电源系统 | 蒸发电极构成 | 3点式 |
蒸发电源・数量 | SEREM PSE-150C・1 式 0~10V 150A(Max) | |
排气系统 | 主泵 | 油扩散泵(水冷) 1100L/sec |
液体氮气捕集器 | 有 | |
補助泵 | 油回转泵 200L/min、2台 | |
油雾捕集器 | 选项 | |
操作系统 | 主阀 | 蝶阀 |
補助阀 | 三通阀 | |
自动泄露阀 | 选项 | |
操作 | 手动 | |
控制系统 | 皮拉尼真空计 | GP-1G |
电离真空计 | 选项 | |
设置 | 最大尺寸 本体 | 1235mm(W)×836mm(D)×2155mm(H) |
电源 | 设备本体收纳 | |